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曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响

徐福全 金陆 李文昊 裴舒 巴音贺希格 齐向东

徐福全, 金陆, 李文昊, 裴舒, 巴音贺希格, 齐向东. 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 57-61.
引用本文: 徐福全, 金陆, 李文昊, 裴舒, 巴音贺希格, 齐向东. 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 57-61.
XU Fu-quan, JIN Lu, LI Wen-hao, PEI Shu, Bayanheshig, QI Xiang-dong. Influence of defocus of exposure system on diffraction[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 57-61.
Citation: XU Fu-quan, JIN Lu, LI Wen-hao, PEI Shu, Bayanheshig, QI Xiang-dong. Influence of defocus of exposure system on diffraction[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 57-61.

曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响

详细信息
    通讯作者: 徐福全
  • 中图分类号: O436.1; O438.2

Influence of defocus of exposure system on diffraction

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出版历程
  • 收稿日期:  2008-09-11
  • 修回日期:  2008-10-22
  • 刊出日期:  2008-12-01

曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响

    通讯作者: 徐福全
  • 中图分类号: O436.1; O438.2

摘要: 波前像差是衍射光栅的重要技术指标, 它直接影响光栅的分辨率。由光致刻蚀剂记录两束相干光干涉条纹是制作全息光栅的关键步骤。为了提高全息光栅曝光系统调整精度、减小离焦、降低光栅的衍射波前像差,从离焦对反射球面准直镜的准直光平行度的影响程度出发,分析了准直光平行度对全息光栅衍射波前像差的影响。理论分析和数值模拟结果表明,准直镜调整误差直接决定全息光栅衍射波前像差大小。以3种不同刻线密度光栅为例,得出了准直镜调整误差的允许变化范围。

English Abstract

徐福全, 金陆, 李文昊, 裴舒, 巴音贺希格, 齐向东. 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 57-61.
引用本文: 徐福全, 金陆, 李文昊, 裴舒, 巴音贺希格, 齐向东. 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 57-61.
XU Fu-quan, JIN Lu, LI Wen-hao, PEI Shu, Bayanheshig, QI Xiang-dong. Influence of defocus of exposure system on diffraction[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 57-61.
Citation: XU Fu-quan, JIN Lu, LI Wen-hao, PEI Shu, Bayanheshig, QI Xiang-dong. Influence of defocus of exposure system on diffraction[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 57-61.

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