磨料水射流抛光技术作为一种非接触式超精密加工方法，凭借其稳定的材料去除函数、无亚表面损伤特性及强形状适应性，在光学元件加工领域具有重要应用价值。本研究通过计算流体动力学（CFD）数值模拟方法，系统分析了射流压力、喷嘴直径及入射角度对抛光流场压力分布、速度分布及壁面剪切力分布的作用规律。基于Box-Behnken实验设计，构建了响应面回归模型，系统研究了工艺参数对熔石英玻璃的材料去除率（MRR）和表面粗糙度（Ra）的影响机制。实验结果表明：通过增大射流压力和喷嘴直径可显著提高MRR，该规律与流场仿真揭示的剪切应力分布特征一致；但增大射流压力和入射角度会导致Ra增大，不利于表面质量提升。通过遗传算法（GA）多目标优化建立Pareto解集，成功实现了加工效率与表面质量的协同优化，在射流压力2 MPa、喷嘴直径0.3mm和入射角度30°的参数组合下MRR达169.05 μm³/s、Ra低至0.50 nm；实验验证表明，模型预测值与实测值误差仅为4.4%（MRR）和3.8%（Ra），验证了模型的可靠性。本研究建立的参数优化体系为复杂曲面光学元件的超精密抛光提供了理论依据与技术支持。

在结构光三维测量系统中，相机离焦现象不可避免。在离焦的影响下，物体表面的复杂纹理会引入显著的相位误差，影响测量精度。本文针对该问题，分析并构建了该相位误差的理论模型，指出了其与纹理变化方向的关系，并由此提出了一种基于双向条纹点云匹配的复杂纹理误差校正方法。理论上，通过投影横纵条纹图案获得的双向相位信息应解出完全一致的点云。基于这一原理，本文提出以最小化横纵点云对应点距离为目标，修正每个点对应的相位，最终得到校正后的点云。为了消除标定参数误差导致的点云整体偏移，本文通过点云匹配进行了预校正。对比实验的结果表明：对实际物体，相较传统方法，本文方法的平均绝对误差(MAE)和均方根误差(RMSE)最高可分别降低33.6%和39.1%。本文方法能够以更高的精度重建带有复杂纹理的物体。

为实现肿瘤标志物的早期诊断，本文设计了一种适用于流动相样本的单分子免疫检测系统，并对其光学荧光成像平台及图像检测计数算法进行了研究。首先，为满足低浓度、高通量样本的即时检测需求，提出了一种基于流动相的单分子免疫检测方法。其次，结合微流控芯片的规格要求，设计了一套光学荧光成像检测平台，通过滤光和分光元件的合理配置，利用多模块集成实现荧光样本的高分辨率成像。最后，在离焦粒子的图像检测计数算法的基础上，优化了特征匹配方法，以高效处理非焦面荧光粒子信号。实验结果表明，本系统在单分子免疫标志物样本检测中的下限可达到0.001 pg/mL，在0.001～1 pg/mL的理论检测范围内，精度小于10% CVs，可在一小时内完成最多十份样本的检测。本系统满足了单分子免疫检测的稳定性、高灵敏度和高通量检测需求，在癌症早期筛查领域具有重要的应用前景。

为了解决现有超构表面位移测量技术无法同时测量多个物理量的问题，本文设计了一种超构表面级联结构，可用于同时测量径向角位移和纵向线位移。首先，根据级联超构表面对圆偏振光的联合相位调制阐述了位移测量的工作原理。接着，以琼斯传输矩阵分析了相位延迟携带的位移信息，推导了角位移与线位移的数学表征。然后，以设计目标作为约束条件优化单元结构参数，构建超构表面的模型。最后，采用时域有限差分法对超构表面结构进行模拟，验证方法可行性并分析器件测量性能。结果表明，在633 nm的工作波长下，角位移灵敏度为0.9716，理论分辨率34.27 μrad，线位移灵敏度为0.0041，理论分辨率8.12 nm。该方法提高了超构表面位移测量技术的测量自由度，并有希望进一步扩展到六维，以此实现对待测目标的完全姿态确定。

利用直拉法成功合成了具有高光学质量的Yb:CaGd_0.33Y_0.625AlO₄ (Yb:CGYA) 激光晶体。引入的Gd³⁺离子有助于保持原始结构，并有效诱导Yb³⁺离子发射光谱的非均匀展宽。Yb:CGYA 晶体的荧光发射峰波长为 1053 nm，对应的半峰全宽为 93 nm。通过使用双折射滤波片实现了从 1017 nm至 1073 nm的可调谐激光输出，这是迄今为止在短腔中报道的最宽调谐范围。这种紧凑型激光器为其在1 μm波段附近的应用提供了巨大优势。

为了解决基于光学游标效应的光纤应变传感器中传统光谱跟踪解调方式测量精度不足、测量范围小的问题，本文提出了一种改进型互相关算法并将其应用于游标型光纤应变传感器信号解调。该算法通过互相关操作从采集的光谱数据中识别出与待测光谱最为相似的光谱，然后通过加权计算得到预测应变值。由于该算法使用了被测量光谱中包含的全部信息，因此可以得到更准确的结果和更大的测量范围，经过实验验证，获得了0.1038\begin{document}$ \mu \varepsilon $\end{document}的低平均绝对误差，并且消除了光谱范围对测量范围的限制。此外，与光谱跟踪技术相比，由于其可以使用低分辨率光谱进行解调，该改进互相关算法还具有提高测量速度的能力，因此该算法进一步提高了基于游标效应的光纤应变传感器解调性能。

超疏水表面作为一种有效的被动防冰方法，可以减少低温环境下金属表面的结冰。然而，由于其通常采用的有机物修饰在恶劣环境下易老化，从而导致防冰性能下降或完全失效等严重问题。本文采用飞秒激光掺杂制备微结构方法在对铝合金表面进行微观形貌和化学成分的同时改变，实现材料表面无有机涂层的超疏水防冰效果。与未加工铝合金和传统氟硅烷改性的铝合金表面相比较，激光掺杂加工后的铝合金表面具有较低的热导率和仿生蚁丘群结构，使得其具有良好的延迟结冰时间（803.3 s）和较低的冰附着力（16 μN）。此外，这种本征超疏水金属表面在防冰性能方面也表现出优异的环境耐久性。这些研究结果证实了我们获得的无有机涂层超疏水样品在防结冰方面的有效性。

光学系统的偏振特性会改变入射光的偏振态，从而对成像质量、探测精度等产生影响。对于望远镜、光刻物镜等光学仪器，偏振特性是决定系统性能的重要因素之一。因此，抑制光学系统偏振特性的不利影响是实现高性能现代光学系统的关键之一。本文总结了光学系统偏振特性影响抑制方法的研究现状，并将已有方法归结为三类：偏振定标、偏振补偿和低偏振优化设计。介绍了上述三种方法的基本原理，并结合应用实例对各种方法进行了分类与讨论。最后，分析了三种方法的联系及其相互之间的协同应用，并对光学系统偏振特性影响抑制方法的未来发展进行了讨论与展望。

为提高测量系统的稳定性及精度，实现航天器超近距离高精度对接，本文提出了一种基于单相机及合作靶标的相对位姿测量系统，用于双星间相对位置及姿态的高精度测量。通过设计追踪星视觉相机及目标星LED合作靶标，在双星距离为50米到0.4米的范围内，实现了高精度的相对位姿测量。首先，通过设计的远近场LED靶标，实现了相机与靶标间的协同工作，保证在50米到0.4米的距离均能清晰成像；其次，根据设计的靶标特性，提出了多尺度质心提取算法，利用斜率一致性约束与间距比筛选，在复杂光照下稳定获取特征目标；最后，结合靶标几何约束的初值估计，实现了目标星相对于追踪星的位姿解算，为进一步提高测量精度，引入非线性优化方法对位姿结果进行迭代优化，有效降低了测量误差。试验结果表明，系统测量精度由远及近逐渐提高，在距离为0.4米时，位置测量精度优于1毫米，姿态测量精度优于0.2度，满足超近距离对接任务需求。本方案为空间在轨目标相对位姿测量提供了高精度、高稳定性的技术支撑，具有重要的工程应用价值。

为了有效提高检测灵敏度和实用性，本文提出了一种基于游标效应增敏的Lyot-Sagnac传感结构与Fabry-Pérot干涉仪（FPI）级联的光纤温度传感器。其中，Lyot-Sagnac传感结构是通过90°旋转熔接不同长度保偏光纤（PMF）制作的，FPI是利用空芯光子晶体光纤作为F-P腔制作的。理论分析结果表明，通过90°旋转熔接方法制作的Lyot-Sagnac传感结构输出光谱包络良好，并与FPI级联利用游标效应能够显著提高传感器温度检测灵敏度。实验结果表明，级联传感器分别以Lyot-Sagnac传感结构中不同长度的PMF作为传感部位时，温度检测灵敏度为12.56 nm/°C和 92.77 nm/°C。相比于单独的Lyot-Sagnac干涉结构，本文提出的传感器灵敏度提升了约57倍。此外，在同一测量带宽情况下，PMF₁模式的测量范围是PMF₂模式的9.3倍。因此，相较于传统游标效应光纤温度传感器，本文提出的双响应模式温度传感器不仅具有良好的检测灵敏度，而且利用同一光谱检测设备可有效适配不同检测范围与灵敏度需求的应用场景，为性能可调式光纤温度传感器的研发提供了一种新思路。

针对现有瑞奇-康芒法检测大口径平面反射镜的数据处理方法中存在通用性较低、检测中的数据易受环境稳定性影响等问题，本文提出了一种灵敏度矩阵分析结合光线追迹的数据处理方法，对瑞奇-康芒法检测获得的数据进行处理分析，实现了对大口径平面镜的高精度面形检测。首先在Zemax软件中建立了瑞奇-康芒光学检测模型，并采用光线追迹算法获得了灵敏度矩阵，使用灵敏度矩阵计算并分离检测过程中存在的误差，相比直接采用泽尼克拟合方式去除像差的方法具有更高的检测精度，避免了近似拟合对数据处理结果的影响，其次对基于灵敏度矩阵的数据处理算法进行了仿真验证。将该算法应用于口径200 mm平面镜的瑞奇-康芒法检测实验，通过与直接采用干涉仪检测结果的交叉对比，验证了该数据处理算法的正确性。进而将该方法应用于口径为2.2 m平面镜的制造流程中，最终获得的面形结果均方根误差优于1/50\begin{document}$\lambda $\end{document}。该方法为大口径平面镜的瑞奇-康芒检测提供了一种高效可靠的数据处理算法，具有明显的工程应用价值。

超构表面透镜存在离轴像差和材料色散，在成像探测领域无法同时兼顾视场和工作带宽。本文基于单片超构表面构建可见光大视场消色差超透镜。采用二次型相位实现大视场探测，进一步通过粒子群算法(particle swarm optimization, PSO)优化超构表面单元结构传输相位实现连续波段色散调控，因此在满足大视场下拓展工作带宽。对于单片超构表面透镜数值孔径0.351，在0.55 μm~0.65 μm波段内实现了±20°视场角的消色差光场聚焦。在工作波段和视场范围内焦距纵向误差≤3.2 μm(~0.08f₀)，入射角探测偏差≤1.34°。本文提出的可见连续波段大视场消色差单片超构表面透镜有望在轻小型、集成化光学系统成像探测等领域发挥作用。

由于大气背景辐射对多普勒非对称差分（DASH）干涉仪风场探测成像质量产生影响，本文对其进行研究并设计杂散光抑制结构。基于轨道参数和观测几何，分析不同高度下大气背景辐射对系统信噪比（SNR）影响。随后，结合系统参数和信噪比变化规律设计遮光罩，并通过点源透过率（PST）评估抑制效果。结果表明，随着高度降低，大气背景辐射逐渐增强，从而导致信噪比逐渐下降。从PST曲线可知，系统视场内PST保持稳定，遮光罩未影响对目标光线的探测；视场外PST随离轴角增加而降低，在杂散光抑制角1.07°附近降至10⁻⁸以下，所提抑制设计满足系统对大气背景辐射的抑制要求。

为实现穆勒矩阵的高速测量，本文提出一种基于过压驱动的穆勒矩阵高速测量方法。首先，建立基于液晶的穆勒矩阵仿真模型，仿真分析了待测物穆勒矩阵测量的可行性。其次，给出液晶相位延迟器的过压驱动方法，并利用过压驱动技术缩短了偏振态的切换时间。最后，实验测量了空气、偏振片及1/4波片的穆勒矩阵。实验结果表明：6个偏振态的生成频率从71 Hz提升到417 Hz，穆勒矩阵的测量频率从10 Hz提升到60 Hz，提升约6倍；同时，穆勒矩阵测量均方误差（MSE）优于0.0004，消光比优于750∶1，椭偏度低于1.06%。因此，过压驱动方法能够实现穆勒矩阵的高速测量，进一步推动其在动态偏振分析、光学元件在线质检、生物医学成像等实时检测领域的应用。

光电混合的光学卷积神经网络（OCNN）通过结合光子元件的并行线性计算能力和电子元件的非线性处理优势，在分类任务中展现了巨大的潜力。然而，光子元件的制备误差即不精确性和执行后向传播的FPGA中电路噪声显著影响了网络性能。本文搭建了光电混合的OCNN，其中的线性计算由基于马赫-曾德尔干涉仪的光学计算层完成，而池化计算及训练过程在FPGA中完成。本文着重研究了在FPGA上的片上训练方案，分析了噪声对片上训练效果的影响，并提出了增强OCNN抗噪能力的网络优化策略。具体地，通过调整池化方式和尺寸以增强OCNN的抗噪性能，并在池化层后引入Dropout正则化以进一步提升模型的识别准确率。实验结果表明，本文采用的片上训练方案能够有效修正光子元件的不精确性带来的误差，但电路噪声是限制OCNN性能的主要因素。此外，当电路噪声较大时，例如当电路噪声造成的MZI相位误差标准差为0.003，最大池化方式与Dropout正则化的结合可以显著提升OCNN的测试准确率（最高达78%）。本研究为实现OCNN的片上训练提供了重要的参考依据，同时为光电混合架构在高噪声环境下的实际应用探索提供了新的思路。

本文针对油气井、发动机燃油系统和航空液压系统等高温密闭环境下压力监测的技术难题，提出了一种基于温度补偿的金属膜片式光纤压力传感器。该传感器采用金属敏感膜片与蓝宝石晶片构成温度-压力双法珀（Fabry-Perot, FP）干涉腔结构，并结合互相关信号解调算法与温度解耦方法，有效降低温度串扰对压力测试的影响。实验结果表明，该传感器在常温和300 °C的压力测量中最大非线性误差为0.75% FS和0.99% FS。经过温度解耦后压力测量精度可达1.7% FS。该传感器具有良好的静态压力响应、稳定性和可靠性，为某些高温压力监测场景提供了一种有效的解决方案。

作为量子领域的潜在能源供给系统，量子电池不可避免地经历由环境退相干诱导的提取功衰变过程。为了抑制能量耗散，本文提出了一种运动原子电池方案，其中原子所在的耗散腔与结构化环境发生耦合作用。本文通过开放量子系统方法，研究了量子电池最大提取功的动力学特性。我们发现，在非马尔可夫环境中，量子电池提取功的衰减显著减缓。相比于静止状态，当量子电池处于运动状态时，量子电池的存储性能得到了提升。这种能量保存效应在较高运动速度下更加显著。当环境记忆效应与运动控制同时作用时，两者有助于延长量子电池的放电寿命。此外，我们还研究了环境温度、随机噪声以及量子纠缠的影响。这些结论为开放量子电池提供了一种可行方案。

衍射光波导因其轻薄的外形、大视场角和大的眼动范围，成为实现增强现实（Augmented reality, AR）近眼显示技术最有前景的方案之一。目前商业化AR光波导仿真软件大多由国外公司开发，未见到有国产3D可视化的光波导仿真设计软件报道。据我们所知，本文工作为国内首款自主研发的基于光线场追迹的3D可视化光波导设计仿真模块。并应用该仿真模块设计了一款二维出瞳扩展的衍射光波导，展示了从光栅的k域分析、光波导中光栅各个区域的自动布局、光波导优化到光线场追迹仿真的完整设计流程。该仿真模块不仅能够对单个的波导器件进行仿真，还能够对整个近眼显示光学系统进行仿真，包括微显示屏、微型投影光机与人眼模型，实现从微观到宏观尺度仿真，体现了该光波导仿真模块的功能和优势。该光波导仿真设计模块为国内光学工程师提供了一种高效、稳定的光波导设计仿真工具，将助力我国AR光技术产业化的发展。

为了实现动态物体的三维轮廓测量，并克服传统傅里叶解调方法中由于不同载频频谱混叠而导致的测量精度的限制，以及彩色复合条纹投影技术中的颜色耦合问题，本文提出了一种基于快速迭代滤波的三频彩色条纹投影轮廓术。该方法首先通过CCD相机采集一帧彩色图像，其中\begin{document}$R$\end{document}、\begin{document}$G$\end{document}、\begin{document}$B$\end{document}通道分别携带了不同频率的变形条纹图像。然后，通过各分量互减去除干扰背景及噪音得到了频率混合的条纹图，接着利用快速迭代滤波将不同的频率条纹图进行分离和颜色解耦。随后，对由\begin{document}$R$\end{document}、\begin{document}$G$\end{document}、\begin{document}$B$\end{document}通道分离的单频率的条纹图分别进行傅里叶变换，提取包裹相位信息。最后，为了实现精确的相位展开，本文首先采用空域解包裹算法展开低频相位，并基于此依次展开中频和高频相位，从而完成整个相位解包裹过程。仿真和实验结果表明，本文方法的相位展开精度比传统傅里叶方法提高约7倍，且相比其他单帧解调方法，本文方法精度最高，抗噪性能强，为高精度、动态实时三维测量提供了一种有效的技术方案。

为了提升大口径光学元件的加工效率，提出了采用多个加工单元分别同时负载单个工具并共同执行加工任务，以降低加工单元执行时间从而大幅提升加工效率方法。首先，根据光学元件提出一种多机器人协同加工布局，接着，针对三种潜在的可行轨迹进行了模拟加工。然后，在离散仿真基础上，得出了轨迹参数的选取原则，针对离散仿真无法体现轨迹连续性对面形影响这一局限提出并建立了运动模式适配的积分去除函数模型，此模型将轨迹连续性的影响引入模拟加工中，最后提出一种协同加工避障策略并采用最优轨迹进行了协同加工的效率提升验证实验。实验结果表明：将初始面形PV=18.310λ（λ=632.8 nm），RMS为1.788λ的元件收敛至PV=4.873λ，RMS=1.113λ，与此同时其直径120 mm的有效区间内PV=4.661λ，RMS=0.857λ，经加工后收敛至PV=2.465λ，RMS=0.622λ。总执行时间为3.943h,若采用协同加工策略单个加工单元最长执行时间为2.041h，相比单工具效率提升1.93倍。与单机器人加工相比，该方法使得加工效率显著提高，面形精度得到保证，有效缩短了加工周期，在大孔径光学元件制造中具有很强的适用性和潜力，同时也为未来使用更多机器人的协同光学制造提供了轨迹规划策略参考和奠定了基础。

采用热聚法结合室温溶液法制备了Bi₂O₃/Bi₂S₃异质结复合材料，并对其微观形貌、晶体结构和元素组成等进行了表征。结果表明Bi₂O₃/Bi₂S₃异质结复合材料整体呈现为块状形貌且有孔洞存在，表面相对粗糙。基于所制备的Bi₂O₃/Bi₂S₃异质结复合材料，构筑了光电探测器。在无外加偏压条件下，Bi₂O₃/Bi₂S₃探测器暴露在紫外光下的最大光电流（0.32 μA）和响应速度（65.65/80.56 ms）相比Bi₂O₃探测器均得到了明显增强。此外，该器件可将Bi₂O₃的探测波段从紫外拓宽至可见光，并且在可见光波段也具有快速稳定的自驱动探测能力。这主要是由于Bi₂O₃和窄带隙Bi₂S₃半导体成功耦合，形成了II型能带结构的异质结复合材料。值得注意的是，连续开/关蓝光100次的光电探测性能测试结果表明，Bi₂O₃/Bi₂S₃探测器具有良好的循环稳定性。

为测量大气相干长度这一表征大气湍流对自由空间光通信链路性能影响的重要指标，本文提出了一种将扩展目标作为信息源的新策略，即结合波前结构函数法与扩展目标偏移量算法直接对大气相干长度进行估计。现有的差分像运动监测器等方法通常依赖于导星目标，但在水平通信链路中难以设置合适的导星目标，其实际应用效果受到显著限制。因此，将扩展目标作为直接测量的信息源，为大气相干长度测量提供了一种可行的解决方案。本文首先回顾了现有主流算法的原理及研究现状，分析了现有算法对导星目标的依赖性及其在水平链路应用中的局限性。在此基础上，提出一种将改进归一化互相关算法与波前结构函数法相结合的测量方案，用于扩展目标场景估计大气相干长度。与传统测量方法相比，该方法能够在水平链路基于扩展目标条件下有效开展测量，同时显著减少了系统的复杂度和设备成本。为验证所提方法的有效性与测量精度，本文设计开展了仿真与实验研究。结果表明，该方法测得相干长度值与差分像运动监测器法及波前相位方差法高度一致，测量精度误差约为4%。这一结果证明了该方法在大气相干长度评估中的有效性，可为提升自由空间激光通信的可靠性提供有效参考。

为了实现空间目标的广域探测，本文设计并研制了一种宽光谱（400 nm−1000 nm）、大视场（61°）、小F数（1.38）、低畸变的光学系统。该光学系统具备六等星的探测能力，能够实现对空间目标的广域探测。首先，建立空间目标探测辐射特性模型与光学系统参数的映射关系，然后开展相应的光学系统设计理论分析，采用反摄远式结构作为初始的光学系统设计构型。通过优化设计，平衡并校正其大视场与宽光谱带来的严重色差，提高能量集中度的同时兼顾弥散斑圆整度，并通过空间光学仿真进行探测能力验证，其结果表明该光学系统能够满足六等星的空间目标广域探测需求。最后，对该光学系统进行实物探测能力实验验证。实验结果表明，该光学系统具备六等星的空间目标广域探测能力。该光学系统整体设计合理、结构紧凑，能够满足空间目标广域探测的应用需求。

随着生物荧光技术的迅速发展，对信号传输的精度要求也越来越高。滤光膜作为系统分光的核心器件，其光谱特性直接影响系统的传输精度。本文选用Nb₂O₅与SiO₂作为高低折射率材料，利用高斯变迹函数结合Optilayer膜系软件对多通道负滤光膜进行膜系优化设计。采用电感耦合磁控溅射沉积技术，在D263T基板上研制多通道负滤光膜。通过对膜层敏感度反演分析，解决了膜厚控制误差影响光谱偏移及通带透过率降低的问题。研究了工艺参数对膜层粗糙度的影响因素，通过调节ICP功率有效改善膜层表面粗糙度。所研制的多通道负滤光膜45°入射时，中心波长576 nm、639 nm、690 nm反射带半宽度分别为5 nm、6 nm和7 nm，平均反射率约为98%。透射区545~562 nm，597~624 nm，655~675 nm和708~755 nm，平均透射率达到92%。多通道负滤光膜通过耐环境测试与光谱稳定性测试，满足生物荧光系统中多通道负滤光膜的使用要求。

相比传统的单频连续域束缚态（BIC），双带BIC具有更高的自由度和功能性。因此，实现双带BIC的独立调控将进一步增强其优势，最大化其性能。本研究设计了一种在太赫兹（THz）波段实现双带BIC的全介质超表面。通过调节两种不对称结构参数，可以实现对两个对称保护BIC的独立控制。此外，通过改变硅孔形状，验证了该设计对几何形状具有较强的鲁棒性。最后，测试结果表明，两个BIC的优值（FOM）均可达到10⁹。本研究为双频BIC的实现与调谐提供了一种新的方法，并为多模激光器、非线性光学、多通道滤波及光传感等领域的应用提供了更多可能性。

条纹投影技术在三维测量和表面形貌重建中得到广泛应用，其相位质量是决定测量精度的关键因素。然而，输入光强和输出光强之间的非线性效应是导致相位误差的主要来源之一。为了解决这一问题，本文提出了一种新的系统非线性主动校正方法。该方法首先通过对标准平面投影少量的均匀灰度图像，获取输入光强与输出光强的变化规律。然后，将这一规律与系统非线性主动校正结合，建立了基于输入输出光强变化的系统非线性模型。利用遗传算法求解最优编码值，从而通过条纹编码主动校正了投影条纹。校正后的条纹有效减少了非线性效应带来的影响，大幅提升了相位获取的质量。为了验证所提方法的有效性，以三步相移为例进行了计算机仿真。结果表明，标准误差降低了88%，最大误差减少了85.5%。在实际标准平面实验中，校正后标准相位误差由0.0706 rad降至0.0168 rad，最大相位误差由0.4129 rad降至0.0960 rad。在人脸石膏模型实验中，校正后标准相位误差由0.0472 rad降至0.0102 rad，最大相位误差由0.2990 rad降至0.2408 rad。在复杂形貌人脸石膏件的三维重建中，校正后表面质量显著提升，影响相位质量的水波纹效应大幅减小。与现有的大步相移方法相比，本文提出的方法具有高质量的相位获取精度，而且在所需数据量和操作便捷性方面也具有明显优势，显示出广泛的应用前景。

针对高功率轴快流CO₂激光器射频放电阻抗匹配问题，本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络，实现了射频激励轴快流CO₂激光器在不同放电结构下的射频功率高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论，构建了多电极等效电路模型，提出向匹配网络中引入可调高压陶瓷电容的方法，设计了适用于高功率射频激励轴快流CO₂激光器的动态L型匹配网络。模拟的动态L型匹配网络可实现向16根放电管注入60 kW射频功率，在总负载阻抗12.81 Ω~49.94 Ω的范围内实现反射率小于1%；并搭建了单管射频放电实验装置，实验测得动态L型匹配网络在4 kW注入功率下反射率小于1%，与仿真结果相符。证明了引入可调高压陶瓷电容的动态L型匹配网络能够实现高动态范围内的阻抗匹配，基本满足高功率射频激励轴快流CO₂激光器匹配电路设计要求。

腔衰荡光谱仪器（CRDS）中腔镜微缺陷会导致测量精度下降。本文建立了基于Bobbert Vlieger BRDF 理论的腔镜微缺陷散射模型，分析了微缺陷在不同光源波长、入射角度、缺陷量级、缺陷类型、缺陷密度、基底膜层的散射光特性。腔镜微缺陷散射模型研究表明：微米至亚微米（100 μm~0.1 μm）量级缺陷会降低衰荡吸收精度；针对该量级微缺陷的检测，构建了腔镜微缺陷散射和微缺陷暗场检测的分析模型。CRDS腔镜微缺陷散射光模型的建立与分析，是实现腔镜微缺陷高精度检测和CRDS测量精度恢复的关键技术。