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复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析

复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 66-69.
引用本文: 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 66-69.
SU Dong-feng, XU Zhijun, HAN Xu-dong. Mechanics analysis of bearing board when reproducing[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 66-69.
Citation: SU Dong-feng, XU Zhijun, HAN Xu-dong. Mechanics analysis of bearing board when reproducing[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 66-69.

复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析

详细信息
  • 中图分类号: TP212.12; TH741.2

Mechanics analysis of bearing board when reproducing

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出版历程
  • 收稿日期:  2008-09-11
  • 修回日期:  2008-10-17
  • 刊出日期:  2008-12-01

复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析

  • 中图分类号: TP212.12; TH741.2

摘要: 为了复制高精度、大直径薄光栅盘,对曝光装置中影响感光条件的支撑板进行了受力分析。将支撑板的力学分析归结为边界简支的圆形薄板的小挠度问题,通过理论计算得到了支撑板的挠度和厚度的计算关系式,为设计支撑板提供了理论依据。根据理论推导,选择旋转式曝光装置,采用直径为1 000 mm、厚度为40 mm的支撑板,研制出了较高精度的大直径薄光栅盘,其最大直径误差为047″,均匀性误差为8%,满足了使用要求。

English Abstract

复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 66-69.
引用本文: 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学, 2008, 1(1): 66-69.
SU Dong-feng, XU Zhijun, HAN Xu-dong. Mechanics analysis of bearing board when reproducing[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 66-69.
Citation: SU Dong-feng, XU Zhijun, HAN Xu-dong. Mechanics analysis of bearing board when reproducing[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 66-69.

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