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多功能抗激光损伤高反射膜

赵缨慰 付秀华 李珊 宫大为

赵缨慰, 付秀华, 李珊, 宫大为. 多功能抗激光损伤高反射膜[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 274-278.
引用本文: 赵缨慰, 付秀华, 李珊, 宫大为. 多功能抗激光损伤高反射膜[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 274-278.
ZHAO Ying-wei, FU Xiu-hua, LI Shan, GONG Da-wei. Anti-laser-induced damage high reflectance film with multifunction[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 274-278.
Citation: ZHAO Ying-wei, FU Xiu-hua, LI Shan, GONG Da-wei. Anti-laser-induced damage high reflectance film with multifunction[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 274-278.

多功能抗激光损伤高反射膜

详细信息
  • 中图分类号: O484.41

Anti-laser-induced damage high reflectance film with multifunction

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-11
  • 刊出日期:  2010-06-30

多功能抗激光损伤高反射膜

  • 中图分类号: O484.41

摘要: 为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO2和SiO2为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀膜工艺参数和监控方法,在10 mm1.8 mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45入射时,薄膜在900~1 100 nm的p光与s光的反射率均大于99.95%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时满足两种激光器的使用要求。

English Abstract

赵缨慰, 付秀华, 李珊, 宫大为. 多功能抗激光损伤高反射膜[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 274-278.
引用本文: 赵缨慰, 付秀华, 李珊, 宫大为. 多功能抗激光损伤高反射膜[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 274-278.
ZHAO Ying-wei, FU Xiu-hua, LI Shan, GONG Da-wei. Anti-laser-induced damage high reflectance film with multifunction[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 274-278.
Citation: ZHAO Ying-wei, FU Xiu-hua, LI Shan, GONG Da-wei. Anti-laser-induced damage high reflectance film with multifunction[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 274-278.

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