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丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿

齐向东 滕丽华 于海利

齐向东, 滕丽华, 于海利. 丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 279-284.
引用本文: 齐向东, 滕丽华, 于海利. 丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 279-284.
QI Xiang-dong, TENG Li-hua, YU Hai-li. Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 279-284.
Citation: QI Xiang-dong, TENG Li-hua, YU Hai-li. Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 279-284.

丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿

详细信息
  • 中图分类号: TG85; TH741.3

Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-16
  • 刊出日期:  2010-06-30

丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿

  • 中图分类号: TG85; TH741.3

摘要: 提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。另外该方法还通过调整参考镜角锥棱镜消除了测量过程中丝杠轴向窜动引起的测量误差。实验结果表明,采用提出的方法在300 mm的丝杠行程内修正的最大阿贝误差为1.39 m,补偿后最大残差仅为0.48 m,有效地提高了丝杠测量精度。

English Abstract

齐向东, 滕丽华, 于海利. 丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 279-284.
引用本文: 齐向东, 滕丽华, 于海利. 丝杠精度双频激光干涉测量中的 阿贝误差实时补偿[J]. 中国光学, 2010, 3(3): 279-284.
QI Xiang-dong, TENG Li-hua, YU Hai-li. Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 279-284.
Citation: QI Xiang-dong, TENG Li-hua, YU Hai-li. Real-time compensation of Abbe error in measuring lead screw accuracy by dual-frequency laser interferometer[J]. Chinese Optics, 2010, 3(3): 279-284.

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