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高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

刘艳 苏东奇 杨怀江 隋永新

刘艳, 苏东奇, 杨怀江, 隋永新. 高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力[J]. 中国光学, 2010, 3(5): 500-508.
引用本文: 刘艳, 苏东奇, 杨怀江, 隋永新. 高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力[J]. 中国光学, 2010, 3(5): 500-508.
LIU Yan, SU Dong-qi, YANG Huai-jiang, SUI Yong-xin. Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 500-508.
Citation: LIU Yan, SU Dong-qi, YANG Huai-jiang, SUI Yong-xin. Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 500-508.

高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

基金项目: 

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目

详细信息
    作者简介:

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

  • 中图分类号: TH744.3

Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-17
  • 修回日期:  2010-07-25
  • 刊出日期:  2010-10-25

高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

    基金项目:

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目

    作者简介:

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

    刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
    苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
    杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
    隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn

  • 中图分类号: TH744.3

摘要: 对移相干涉测量中影响移相稳定性,从而产生测量误差的小幅度机械振动进行了研究,建立了振动误差模型,仿真分析了Wyant84b三步算法、Hariharan87五步算法、七步算法和十三步算法4种不同移相算法对振动的免疫能力。模拟结果显示,十三步算法对振动的免疫能力最好,与已发表文献成果吻合,说明本文的模拟具有较高的可信度,在一定程度上能够对影响干涉仪精度的振动误差进行合理预测,并能够起到评价和筛选移相算法的作用。

English Abstract

刘艳, 苏东奇, 杨怀江, 隋永新. 高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力[J]. 中国光学, 2010, 3(5): 500-508.
引用本文: 刘艳, 苏东奇, 杨怀江, 隋永新. 高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力[J]. 中国光学, 2010, 3(5): 500-508.
LIU Yan, SU Dong-qi, YANG Huai-jiang, SUI Yong-xin. Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 500-508.
Citation: LIU Yan, SU Dong-qi, YANG Huai-jiang, SUI Yong-xin. Immunity of phase shifting algorithms to vibration errors in high-accuracy interferometry[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 500-508.
参考文献 (1)

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