- 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033;
- 2. 中国科学院 研究生院,北京100049
基金项目:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目
作者简介:
刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn
刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn
刘 艳(1982—),女,山东潍坊人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:abluelily@163.com
苏东奇(1986—),男,山东德州人,硕士研究生,主要从事高精度干涉检验信息处理的研究。 E-mail:sudongqi@qq.com
杨怀江(1966—),男,辽宁丹东人,研究员,博士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及深紫外光刻技术等方面的研究。E-mail:yanghj@sklao.ac.cn
隋永新(1970—),男,吉林长春人,研究员,硕士生导师,主要从事信息安全、光学信息融合及辐射定标技术等方面的研究。E-mail: suiyx@sklao.ac.cn
摘要: 对移相干涉测量中影响移相稳定性,从而产生测量误差的小幅度机械振动进行了研究,建立了振动误差模型,仿真分析了Wyant84b三步算法、Hariharan87五步算法、七步算法和十三步算法4种不同移相算法对振动的免疫能力。模拟结果显示,十三步算法对振动的免疫能力最好,与已发表文献成果吻合,说明本文的模拟具有较高的可信度,在一定程度上能够对影响干涉仪精度的振动误差进行合理预测,并能够起到评价和筛选移相算法的作用。