留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置

曲艺

曲艺. 真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 566-571.
引用本文: 曲艺. 真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 566-571.
QV Yi. Measuring instrument for second-order diffraction efficiency of grating in vacuum ultraviolet[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 566-571.
Citation: QV Yi. Measuring instrument for second-order diffraction efficiency of grating in vacuum ultraviolet[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 566-571.

真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置

详细信息
  • 中图分类号: O436.1

Measuring instrument for second-order diffraction efficiency of grating in vacuum ultraviolet

  • 摘要: 利用光栅二级衍射会影响反射样品光谱反射率结果的原理,通过计算不同光谱反射率获得了光栅二级衍射效率。介绍了测量二级衍射效率的实验装置,该装置采用双光路单色仪结构,使用已知光谱辐亮度氘灯作为光源,探测器为光电倍增管,通过水杨酸钠膜将紫外光转为可见光。以波长161 nm为例,测量了5块反射镜样片,计算得到光栅二级衍射效率为0.006 11(10.077 7)。分析表明,该方法采用的测试装置简单,系统不确定度为14.08%,可以实现真空紫外波段光栅二级光谱衍射效率的连续测量。
  • [1] PALMER C. Diffraction Grating Handbook[M]. New York:Thermo RGL,2002. [2] 周哲海. 平面波导凹面衍射光栅的设计[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(6):993-998. ZHOU ZH H. Design of planar waveguide concave diffraction gratings[J]. Opt. Precision Eng., 2008,16(6):993-998.(in Chinese) [3] VASNETSOV M V,BAZHENOV V Y,SLUSSARENKO S S,et al.. Coupled-wave analysis of second-order Bragg diffraction. I.Reflection-type phase gratings[J]. J.Opt.Soc.Am.,2009,26(4):684-690. [4] BRUNOT O P,REITIC F. Accurate calculation of diffraction grating efficiencies[J]. SPIE,1993,1919:236-247. [5] KUZNETSOV I G,WILKINSON E,CONTENT D A,et al.. Grating efficiencies comparison study calculations versus metrology for various types of high groove density gratings at VUV-UV wavelengths[J]. SPIE,2004,5178:267-276. [6] 齐文宗,刘颖,李福田. 铝质紫外闪耀光栅衍射效率的模拟计算及其与实验结果的对比[J]. 光学 精密工程 ,2000,8(1):16-18. QI W Z,LIU Y,LI F T. Comparison of calculated and measured diffractive efficiencies of UV aluminum blazed gratings[J]. Opt. Precision Eng.,2000,8(1):16-18.(in Chinese) [7] OSTERMAN S,ROTTMAN G J. Photometric calibration of the first three spectroscopic orders of an extreme-ultraviolet spectrometer by use of synchrotron radiation[J]. Appl.Opt.,1994,33(19):4193-4200. [8] McPherson A,ROUZE N,WESTERVELD W B,et al.. Calibration of a VUV spectrometer-detector system using synchrotron radiation[J]. Appl. Opt.,1986,25(2):298-310. [9] CARUSO A J,MOUNT G H,WOODGATE B E. Absolute S- and P-plane polarization efficiencies for high frequency holographic gratings in the VUV[J]. Appl. Opt.,1981,20(10):1764-1776. [10] LAPORTE P,SUBTIL J L,COURBON M,et al.. Vacuum-ultraviolet refractive index of LiF and MgF2 in the temperature range 80~300 K[J]. J. Opt. Soc. Am.,1983,73(8):1062-1069. [11] LIEBMAN P A,ENTINE G. Radiance of deuterium arc lamps[J]. Appl. Opt.,1969, 8(7):1502-1502. [12] CANFIELD L R,HASS G,WAYLONIS J E. Further studies on MgF2-overcoated aluminum mirrors with highest reflectance in the vacuum ultraviolet[J]. Appl. Opt.,1966,5(1):45-49. [13] ALBYN K,BURNS H D. Interaction of vacuum ultraviolet radiation with molecular deposits[J]. SPIE,2006,6291:62910H1. [14] HERZIG H,FLEETWOOD C M,TOFT A R. Variability in the vacuum-ultraviolet transmittance of magnesium fluoride windows[J]. Appl. Opt.,1992,31(1):110-114. [15] REFT C S,BECHER J,KERNELL R L. Proton-induced degradation of VUV transmission of LiF and MgF2[J]. Appl. Opt.,1980,19(24):4156-4158. [16] KENDRICK R L,McPherson A,ROUZE N,et al.. Comparison of methods for determining the second-order detection efficiency of a VUV spectrometer[J]. Appl. Opt.,1987,26(10):2029-2041. [17] JAMES A R,SAMSON B S. Techniques of Vacuum Ultraviolet Spectroscopy[M]. Nebraska:Pied Publications,1967. [18] KRISTIANPOLLER N,KNAPP R A. Some optical properties of sodium salicylate films[J]. Appl. Opt.,1964,3(8):915-918.
  • [1] 刘兆武, 尹云飞, 吉日嘎兰图, 于宏柱, 王玮, 李晓天, 鲍赫, 李文昊, 郝群.  二维光栅位移测量技术综述 . 中国光学, 2020, 13(5): 677-690. doi: 10.37188/CO.2019-0237
    [2] 吕强, 王玮, 刘兆武, 宋莹, 姜珊, 刘林, 巴音贺希格, 李文昊.  五维自由度衍射光栅精密测量系统 . 中国光学, 2020, 13(1): 189-202. doi: 10.3788/CO.20201301.0189
    [3] 肖永川, 王超, 张浩, 张亚标, 庾财斌, 瞿鹏飞, 孙力军.  光放大器对光载微波信号传输效率的改善 . 中国光学, 2020, 13(4): 1-6. doi: 10.37188/CO.2019-0195
    [4] 王军民, 白建东, 王杰英, 刘硕, 杨保东, 何军.  瓦级319nm单频连续紫外激光的实现及铯原子单光子Rydberg激发 . 中国光学, 2019, 12(4): 701-718. doi: 10.3788/CO.20191204.0701
    [5] 王雪飞, 卢振武, 王泰升, 鱼卫星.  超表面上表面等离激元波的光栅衍射行为研究 . 中国光学, 2018, 11(1): 60-73. doi: 10.3788/CO.20181101.0060
    [6] 曹佃生, 林冠宇, 杨小虎, 张子辉, 闻宝朋.  紫外双光栅光谱仪结构设计与波长精度分析 . 中国光学, 2018, 11(2): 219-230. doi: 10.3788/CO.20181102.0219
    [7] 吕强, 李文昊, 巴音贺希格, 柏杨, 刘兆武, 王玮.  基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 . 中国光学, 2017, 10(1): 39-50. doi: 10.3788/CO.20171001.0039
    [8] 刘丽娜, 张国青.  利用多像素光子计数器的光学串话效应提高光子探测效率 . 中国光学, 2015, 8(2): 205-210. doi: 10.3788/CO.20150802.0205
    [9] 李志刚.  真空紫外分波前傅里叶变换光谱技术进展 . 中国光学, 2015, 8(5): 736-743. doi: 10.3788/CO.20150805.0736
    [10] 齐立涛.  真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究 . 中国光学, 2014, 7(3): 442-.
    [11] 陈雪坤, 张璐, 吴志勇.  空间激光与单模光纤和光子晶体光纤的耦合效率 . 中国光学, 2013, 6(2): 208-215. doi: 10.3788/CO.20130602.0208
    [12] 王旗, 王希斌, 孙小强, 田亮, 王菲, 张大明.  基于Norland紫外固化胶的热光开关器件 . 中国光学, 2012, 5(2): 194-198. doi: 10.3788/CO.20120502.0194
    [13] 黄翀, 欧阳艳东.  具有可变电控光栅常数的液晶光栅 . 中国光学, 2012, 5(3): 296-301. doi: 10.3788/CO.20120503.0296
    [14] 田亮, 王辉, 岳远斌, 陈长鸣, 张大明.  紫外固化型聚合物高阶布拉格波导光栅滤波器 . 中国光学, 2012, 5(6): 677-681. doi: 10.3788/CO.20120506.0677
    [15] 崔爽, 郭立红, 李岩, 王建军, 于国权, 路明.  光锥导光装置耦合效率分析与测试 . 中国光学, 2012, 5(6): 610-617. doi: 10.3788/CO.20120506.0610
    [16] 张立超.  极紫外多层膜技术研究进展 . 中国光学, 2010, 3(6): 554-565.
    [17] 于杰.  用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法 . 中国光学, 2010, 3(6): 605-615.
    [18] 曹艳波, 艾华.  亚波长闪耀光栅矢量衍射效率计算 . 中国光学, 2010, 3(6): 679-683.
    [19] 苏克强, 陈长征, 任建岳, 张军, 李宪圣.  真空罐内应用的太阳模拟灯阵热设计 . 中国光学, 2009, 2(6): 489-494.
    [20] 徐福全, 金陆, 李文昊, 裴舒, 巴音贺希格, 齐向东.  曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响 . 中国光学, 2008, 1(1): 57-61.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  3060
  • HTML全文浏览量:  127
  • PDF下载量:  1800
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-13
  • 修回日期:  2010-07-17
  • 刊出日期:  2010-12-20

真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 利用光栅二级衍射会影响反射样品光谱反射率结果的原理,通过计算不同光谱反射率获得了光栅二级衍射效率。介绍了测量二级衍射效率的实验装置,该装置采用双光路单色仪结构,使用已知光谱辐亮度氘灯作为光源,探测器为光电倍增管,通过水杨酸钠膜将紫外光转为可见光。以波长161 nm为例,测量了5块反射镜样片,计算得到光栅二级衍射效率为0.006 11(10.077 7)。分析表明,该方法采用的测试装置简单,系统不确定度为14.08%,可以实现真空紫外波段光栅二级光谱衍射效率的连续测量。

English Abstract

曲艺. 真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 566-571.
引用本文: 曲艺. 真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 566-571.
QV Yi. Measuring instrument for second-order diffraction efficiency of grating in vacuum ultraviolet[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 566-571.
Citation: QV Yi. Measuring instrument for second-order diffraction efficiency of grating in vacuum ultraviolet[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 566-571.
参考文献 (1)

目录

    /

    返回文章
    返回