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基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模

张海涛

张海涛. 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 616-622.
引用本文: 张海涛. 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 616-622.
ZHANG Hai-Tao. Modeling for phase shifting point diffraction interferometer based on lens design software[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 616-622.
Citation: ZHANG Hai-Tao. Modeling for phase shifting point diffraction interferometer based on lens design software[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 616-622.

基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模

基金项目: 

国家重大科技专项

详细信息
    作者简介:

    张海涛(1987—),男,山东荷泽人,硕士,研究实习员,主要从事光学检测方面的研究。 E-mail:heisencheung@gmail.com

  • 中图分类号: O436.1; TH744.3

Modeling for phase shifting point diffraction interferometer based on lens design software

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-05-09
  • 修回日期:  2010-07-15
  • 刊出日期:  2010-12-20

基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模

    基金项目:

    国家重大科技专项

    作者简介:

    张海涛(1987—),男,山东荷泽人,硕士,研究实习员,主要从事光学检测方面的研究。 E-mail:heisencheung@gmail.com

  • 中图分类号: O436.1; TH744.3

摘要: 为了模拟用于球面面形高精度检测的相移点衍射干涉仪的测试过程,介绍了点衍射干涉仪的基本工作原理,分析了相移点衍射干涉仪的测量误差。利用光学设计软件和自行编制的软件建立了点衍射干涉仪的检测模型,利用该模型分别推导了参考光束和测试光束在干涉场的复振幅分布,模拟了测量过程。根据光的相干理论,通过改变被测镜的位置,实现移相,得到移相干涉图。最后对一设定的被检镜进行实验模拟,生成了两组对称倾斜的13步移相干涉图,对干涉图处理后计算得到了被检镜的检测面形。结果表明,在不引入硬件误差时,由相位提取和波面反演造成的检测面形与设定面形偏差为RMS值0.0783 nm,PV值0.5656 nm。

English Abstract

张海涛. 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 616-622.
引用本文: 张海涛. 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模[J]. 中国光学, 2010, 3(6): 616-622.
ZHANG Hai-Tao. Modeling for phase shifting point diffraction interferometer based on lens design software[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 616-622.
Citation: ZHANG Hai-Tao. Modeling for phase shifting point diffraction interferometer based on lens design software[J]. Chinese Optics, 2010, 3(6): 616-622.
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