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红外双波段激光滤光膜的研制

宫大为 付秀华 耿似玉 杨道奇

宫大为, 付秀华, 耿似玉, 杨道奇. 红外双波段激光滤光膜的研制[J]. 中国光学, 2011, 4(3): 293-298.
引用本文: 宫大为, 付秀华, 耿似玉, 杨道奇. 红外双波段激光滤光膜的研制[J]. 中国光学, 2011, 4(3): 293-298.
GONG Da-wei, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Dao-qi. Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 293-298.
Citation: GONG Da-wei, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Dao-qi. Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 293-298.

红外双波段激光滤光膜的研制

详细信息
    作者简介:

    宫大为(1985— ),男,吉林四平人,硕士研究生,主要从事光学薄膜技术方面的研究。 E-mail:gongkenannan@sina.com 付秀华(1963—),女,山东滨州人,教授,主要从事光学薄膜技术及半导体激光器制造工艺方面的研究。 E-mail:goptics@126.com

    宫大为(1985— ),男,吉林四平人,硕士研究生,主要从事光学薄膜技术方面的研究。 E-mail:gongkenannan@sina.com 付秀华(1963—),女,山东滨州人,教授,主要从事光学薄膜技术及半导体激光器制造工艺方面的研究。 E-mail:goptics@126.com

  • 中图分类号: O484.1

Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films

  • 摘要: 为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3~5 m高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-02-21
  • 修回日期:  2011-04-23
  • 刊出日期:  2011-06-25

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