真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

齐立涛

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

齐立涛

文章导航 > 中国光学 > 2014 > 7(3): 442

齐立涛. 真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究[J]. 中国光学, 2014, 7(3): 442.

引用本文:

齐立涛. 真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究[J]. 中国光学, 2014, 7(3): 442.

JI Li-Chao. Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum[J]. Chinese Optics, 2014, 7(3): 442.

Citation:

JI Li-Chao. Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum[J]. Chinese Optics, 2014, 7(3): 442.

真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

齐立涛

1.
黑龙江科技大学机械工程学院, 黑龙江哈尔滨 150022

基金项目:

国家自然科学基金资助项目（No.51205113）;黑龙江省留学归国人员科学基金资助项目（No.LC2011C35）;教育部留学回国人员科研启动基金项目;黑龙江科技学院引进人才资助项目（No.2012-03）

详细信息

作者简介:
齐立涛（1977- ），男，黑龙江绥化人，博士，讲师，硕士生导师，2000年于大庆石油学院获得学士学位，2003年于哈尔滨工业大学获得硕士学位，2010年于日本中部大学获得博士学位，主要从事激光和材料作用机理、激光加工和先进制造技术等方面的研究。qltlx@hotmail.com

Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum

JI Li-Chao

1.
School of Mechanical Engineering, Heilongjiang University of Science and Technology, Harbin 150022, China

摘要: 通过倍频Nd：YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266 nm的激光，研究了单晶硅（Si）对不同波长固体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶Si的烧蚀特征。结果表明，单晶Si对波长为100~370 nm的紫外激光具有很好的吸收效果；在其他条件相同时，532 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=30 J）是355和266 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=15 J）的2倍；532、355和266 nm的激光烧蚀单晶Si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。
- Nd：YAG固体激光 /
- 激光波长 /
- 单晶硅 /
- 烧蚀阈值
Abstract: Lasers with wavelengths of 532 nm, 355 nm and 266 nm are obtained using harmonic generation of a Nd: YAG solid-state laser by nonlinear optical crystal. The relationship between the absorption of single crystal silicon and the laser wavelength and ablation characteristics of single crystal silicon by 3 different wavelength lasers under vacuum condition are studied. The results show that single crystal silicon has a good absorption of ultraviolet laser in the wavelength range of 100- 370 nm, and under the same conditions, the minimum single pulse energy for 532 nm laser ablation of silicon is 30 J and the minimum single pulse energy for 355 nm or 266 nm laser ablation of silicon is 15 J. The ablation threshold values of 532 nm, 355 nm and 266 nm laser ablation of silicon are different, which become smaller with the decrease of wavelength.
- Nd: YAG laser /
- laser wavelength /
- silicon /
- ablation threshold

[1]	刘群, 刘崇, 朱小磊, 周雨迪, 乐成峰, 白剑, 贺岩, 毕德仓, 刘东. 星载海洋激光雷达最佳工作波长分析 . 中国光学, 2020, 13(1): 148-155. doi: 10.3788/CO.20201301.0148
[2]	田晓, 齐兵, 金发成, 黄宝玉, 张俊. 采用解析法对Nd:YAG单晶光纤的温度场研究 . 中国光学, 2020, 13(2): 258-265. doi: 10.3788/CO.20201302.0258
[3]	田晓, 齐兵. 空气导热作用下Nd:YAG晶体温场特性 . 中国光学, 2019, 12(3): 686-692. doi: 10.3788/CO.20191203.0686
[4]	岱钦, 张善春, 杨帆, 宁日波, 李业秋, 乌日娜. 高光束质量高斯非稳腔固体激光器研究 . 中国光学, 2019, 12(3): 559-566. doi: 10.3788/CO.20191203.0559
[5]	温雅, 吴春婷, 袁泽锐, 龚亮宇, 金光勇. 远红外固体激光器研究进展 . 中国光学, 2018, 11(6): 889-900. doi: 10.3788/CO.20181106.0889
[6]	杜江林, 高炳荣, 王海宇, 陈岐岱. 基于TiO₂纳米粒子薄膜的低阈值随机激光器的动力学研究 . 中国光学, 2016, 9(2): 249-254. doi: 10.3788/CO.20160902.0249
[7]	张军斌, 黄志云. 太阳光泵浦固体激光阈值的理论分析 . 中国光学, 2016, 9(2): 241-248. doi: 10.3788/CO.20160902.0241
[8]	李文智, 韦成华, 高丽红, 马壮, 王富耻, 吴涛涛. 散射光信号与石墨-二氧化硅激光辐照烧蚀阈值的关系 . 中国光学, 2016, 9(6): 642-648. doi: 10.3788/CO.20160906.0642
[9]	董磊, 刘欣悦, 陈浩. 脉冲单频Nd:YVO₄激光器及其倍频输出特性研究 . 中国光学, 2015, 8(5): 800-805. doi: 10.3788/CO.20150805.0800
[10]	刘华松, 王利栓, 季一勤, 刘丹丹, 姜玉刚, 陈德应. 固体介质间隔层激光标准具性能的影响因素研究 . 中国光学, 2015, 8(1): 74-83. doi: 10.3788/CO.20150801.0074
[11]	潘其坤. 中红外固体激光器研究进展 . 中国光学, 2015, 8(4): 557-566. doi: 10.3788/CO.20150804.0557
[12]	EMDEBenjamin, HERMSDORFJörg, KAIERLEStefan, OVERMEYERLudger. 利用Nd: YAG激光诱导击穿光谱法检测橡胶共混物中锌的均匀性分布 . 中国光学, 2015, 8(4): 596-602. doi: 10.3788/CO.20150804.0596
[13]	夏蕾, 韩旭东, 邵俊峰. 激光波长合束精度研究 . 中国光学, 2014, 7(5): 801-807. doi: 10.3788/CO.20140705.0801
[14]	张健, 张庆茂, 吴锐欢, 陈国, 李泽曦, 刘颂豪. Nd: YAG脉冲激光器双光路输出分时控制系统的设计 . 中国光学, 2013, 6(4): 529-535. doi: 10.3788/CO.20130604.0529
[15]	彭国良, 闫辉, 刘峰, 杜太焦, 王玉恒. 纤维增强复合材料激光烧蚀效应的数值模拟 . 中国光学, 2013, 6(2): 216-222. doi: 10.3788/CO.20130602.0216
[16]	杨宏道, 李晓红, 李国强, 袁春华, 邱荣. 不同气体环境下532 nm激光诱导硅表面形貌的研究 . 中国光学, 2011, 4(1): 86-92.
[17]	TARASENKO V F, SITNIKOV A G, PANCHENKO A N, TEL'MINOV A E, GENIN D E, 李殿军, 张来明, 姜可, 谢冀江, SARKISOV S Yu, BEREZNAYA S A, KOROTCHENKO Z V, KAZAKOV A V. 基于GaSe和GaSe_0.7S_0.3单晶的单脉冲CO₂激光倍频器 . 中国光学, 2011, 4(4): 397-403.
[18]	TARASENKO V F, PANCHENKO A N, BULGAKOVA N M, SHULEPOV M A, TEL'MINOV A E, 李殿军, 张来明, 姜可, 谢冀江. 纳秒激光烧蚀下液态金属表面微结构的形成 . 中国光学, 2011, 4(1): 46-52.
[19]	冷洁, 张晓霞, 王仕超, 周勇, 王祥斌, 陈沛然. 铒镱共掺光波导激光器的稳态特性 . 中国光学, 2009, 2(2): 163-168.
[20]	李世明, 李殿军, 杨贵龙, 邵春雷, 郭汝海. 大功率TEA CO₂激光器旋转火花开关电极烧蚀实验 . 中国光学, 2009, 2(3): 263-268.

点击查看大图

计量

文章访问数: 522
HTML全文浏览量: 127
PDF下载量: 590
被引次数: 0

真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

齐立涛

1. 黑龙江科技大学机械工程学院, 黑龙江哈尔滨 150022

基金项目:

作者简介:
齐立涛（1977- ），男，黑龙江绥化人，博士，讲师，硕士生导师，2000年于大庆石油学院获得学士学位，2003年于哈尔滨工业大学获得硕士学位，2010年于日本中部大学获得博士学位，主要从事激光和材料作用机理、激光加工和先进制造技术等方面的研究。qltlx@hotmail.com

关键词:

Nd：YAG固体激光 /

激光波长 /

单晶硅 /

烧蚀阈值

摘要: 通过倍频Nd：YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266 nm的激光，研究了单晶硅（Si）对不同波长固体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶Si的烧蚀特征。结果表明，单晶Si对波长为100~370 nm的紫外激光具有很好的吸收效果；在其他条件相同时，532 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=30 J）是355和266 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=15 J）的2倍；532、355和266 nm的激光烧蚀单晶Si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。

English Abstract

齐立涛. 真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究[J]. 中国光学, 2014, 7(3): 442.

引用本文:

齐立涛. 真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究[J]. 中国光学, 2014, 7(3): 442.

JI Li-Chao. Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum[J]. Chinese Optics, 2014, 7(3): 442.

Citation:

JI Li-Chao. Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum[J]. Chinese Optics, 2014, 7(3): 442.

全文HTML

下载: 全尺寸图片幻灯片

返回文章

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

留言板

真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum

计量

出版历程

真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

1. 黑龙江科技大学 机械工程学院, 黑龙江 哈尔滨 150022

English Abstract

Different wavelength solid-state laser ablation of silicon wafer in vacuum

1. School of Mechanical Engineering, Heilongjiang University of Science and Technology, Harbin 150022, China

全文HTML

目录

1. 黑龙江科技大学机械工程学院, 黑龙江哈尔滨 150022