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Abstract: 本文提出了一种具有电场调控层的新型改进型单行载流子光探测器(MUTC-PD)。该光探测器中,崖层后新增的p型掺杂电场调控层能够优化收集层中的电场强度,使光生电子在收集层中以峰值漂移速度输运;同时能够增强耗尽吸收层中的电场强度,优化其中光生载流子饱和速度输运特性;并且,器件收集层中光生电子的峰值漂移速度输运特性可以进一步优化其寄生电容特性,从而显著提升光探测器的3dB响应带宽。经过仿真优化设计,获得了响应度为0.502 A/W,3-dB带宽为68 GHz的MUTC-PD,可应用于100 Gbit/s光接收机。
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