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碳化硅扫描反射镜支撑结构设计

陈伟 丁亚林 惠守文 许永森

陈伟, 丁亚林, 惠守文, 许永森. 碳化硅扫描反射镜支撑结构设计[J]. 中国光学, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
引用本文: 陈伟, 丁亚林, 惠守文, 许永森. 碳化硅扫描反射镜支撑结构设计[J]. 中国光学, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
CHEN Wei, DING Ya-lin, HUI Shou-wen, XU Yong-sen. Design of kinematic mount for SiC scanning reflective mirror[J]. Chinese Optics, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
Citation: CHEN Wei, DING Ya-lin, HUI Shou-wen, XU Yong-sen. Design of kinematic mount for SiC scanning reflective mirror[J]. Chinese Optics, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161

碳化硅扫描反射镜支撑结构设计

doi: 10.3788/CO.20120502.0161
基金项目: 

国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA06A208)

详细信息
  • 中图分类号: V447.3; TH706

Design of kinematic mount for SiC scanning reflective mirror

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-12-21
  • 修回日期:  2012-02-23
  • 刊出日期:  2012-04-10

碳化硅扫描反射镜支撑结构设计

doi: 10.3788/CO.20120502.0161
    基金项目:

    国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA06A208)

  • 中图分类号: V447.3; TH706

摘要: 对尺寸为460 mm290 mm的SiC扫描反射镜的轻量化和支撑结构的设计进行了研究。基于三角形和矩形的复合轻量化结构,采用镜体背部为开放和封闭相结合的形式,设计了一种新型的扫描反射镜组件。该组件采用侧面支撑方式和轴向柔性结构,有利于消除支撑结构材料热膨胀系数不匹配产生的热应力对镜面面形的影响。有限元方法分析结果表明:反射镜组件在1 g重力载荷和8 ℃温度变化作用下,反射镜镜面的面形误差RMS值分别为4.5 nm和20.3 nm。该反射镜轻量化形式和支撑结构满足光学成像要求,并可有效提高结构的稳定性,对于大尺寸反射镜组件的设计具有借鉴意义。

English Abstract

陈伟, 丁亚林, 惠守文, 许永森. 碳化硅扫描反射镜支撑结构设计[J]. 中国光学, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
引用本文: 陈伟, 丁亚林, 惠守文, 许永森. 碳化硅扫描反射镜支撑结构设计[J]. 中国光学, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
CHEN Wei, DING Ya-lin, HUI Shou-wen, XU Yong-sen. Design of kinematic mount for SiC scanning reflective mirror[J]. Chinese Optics, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
Citation: CHEN Wei, DING Ya-lin, HUI Shou-wen, XU Yong-sen. Design of kinematic mount for SiC scanning reflective mirror[J]. Chinese Optics, 2012, 5(2): 161-166. doi: 10.3788/CO.20120502.0161
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