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非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定

莫卫东 范琦 贾晋超 张海防 冯明德 杨百遇 李均盛

莫卫东, 范琦, 贾晋超, 张海防, 冯明德, 杨百遇, 李均盛. 非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 263-269. doi: 10.3788/CO.20120503.0263
引用本文: 莫卫东, 范琦, 贾晋超, 张海防, 冯明德, 杨百遇, 李均盛. 非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 263-269. doi: 10.3788/CO.20120503.0263
MO Wei-dong, FAN Qi, JIA Jin-chao, ZHANG Hai-fang, FENG Ming-de, YANG Bai-yu, LI Jun-sheng. Determination of optimum positions of incident spherical wave and reference spherical wave in testing aspheric surface[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 263-269. doi: 10.3788/CO.20120503.0263
Citation: MO Wei-dong, FAN Qi, JIA Jin-chao, ZHANG Hai-fang, FENG Ming-de, YANG Bai-yu, LI Jun-sheng. Determination of optimum positions of incident spherical wave and reference spherical wave in testing aspheric surface[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 263-269. doi: 10.3788/CO.20120503.0263

非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定

doi: 10.3788/CO.20120503.0263
基金项目: 

陕西省自然科学基金资助项目(No.2010JM8012)

详细信息
    通讯作者:

    莫卫东

  • 中图分类号: TQ171.65; O436.1

Determination of optimum positions of incident spherical wave and reference spherical wave in testing aspheric surface

  • 摘要: 为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CCD上干涉条纹的密度,确定非球面检测时参考球面波波源的最佳位置。应用该理论与方法,不仅可明确非球面检测时CCD等光路元件选型的具体策略,而且可用于指导非球面检测调试过程,并能够通过对干涉图的深入分析,获得更多被测非球面的信息。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-13
  • 修回日期:  2012-04-23
  • 刊出日期:  2012-06-10

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