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0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

杨道奇 付秀华 耿似玉 杨永亮 潘永刚

杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
引用本文: 杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
Citation: YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270

0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

doi: 10.3788/CO.20120503.0270
基金项目: 

广东省教育部产学研结合资助项目(No.2010B090400048)

详细信息
    通讯作者: 付秀华
  • 中图分类号: O484.4

Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings

  • 摘要: 针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(65010) nm、900~1 100 nm和(147010) nm三波段内平均透过率99%,在620~1 550 nm宽波段内整体平均透射率97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-01-21
  • 修回日期:  2012-03-23
  • 刊出日期:  2012-06-10

0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

doi: 10.3788/CO.20120503.0270
    基金项目:

    广东省教育部产学研结合资助项目(No.2010B090400048)

    通讯作者: 付秀华
  • 中图分类号: O484.4

摘要: 针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(65010) nm、900~1 100 nm和(147010) nm三波段内平均透过率99%,在620~1 550 nm宽波段内整体平均透射率97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。

English Abstract

杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
引用本文: 杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
Citation: YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
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