留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

杨道奇 付秀华 耿似玉 杨永亮 潘永刚

杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
引用本文: 杨道奇, 付秀华, 耿似玉, 杨永亮, 潘永刚. 0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270
Citation: YANG Dao-qi, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Yong-liang, PAN Yong-gang. Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings[J]. Chinese Optics, 2012, 5(3): 270-276. doi: 10.3788/CO.20120503.0270

0.6~1.55 μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

doi: 10.3788/CO.20120503.0270
基金项目: 

广东省教育部产学研结合资助项目(No.2010B090400048)

详细信息
    通讯作者:

    付秀华

  • 中图分类号: O484.4

Design and fabrication of 0.6-1.55 μm visible/near infrared ultra-broad band antireflection coatings

  • 摘要: 针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(65010) nm、900~1 100 nm和(147010) nm三波段内平均透过率99%,在620~1 550 nm宽波段内整体平均透射率97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。

     

  • [1] 李晓丽,唐月明,何勇,等. 基于可见/近红外光谱的水稻品种快速鉴别研究[J]. 光谱学与光谱分析 ,2008,28(3): 578-581. LI X L,TANG Y M,HE Y,et al.. Discrimination of varieties of paddy based on Vis/NIR spectroscopy combined with chemometrics[J]. Spectrosc. Spect. Anal.,2008,28(3):578-581.(in Chinese) [2] 李大琪,刘定权,张凤山. 6.4~15 μm宽带增透膜的设计与制作[J]. 红外与毫米波学报 ,2006,25(2):135~137. LI D Q,LIU D Q,ZHNAG F SH. Design and fabrication of 6.4~15 μm broadband anti-reflection coatings[J]. J. Infrared Millim. W.,2006,25(2):135-137.(in Chinese) [3] 朱昌,刘佳,GOLSOV D A,等. 氧分压对TiO2薄膜光学性能的影响[J]. 西安工业大学学报 ,2008,28(6):511-515. ZHU CH,LIU J,GOLSOV D A,et al.. Influence of oxygen pressure on the optical properties of TiO2 films deposited with IBS ion-assisted technique[J]. J. xian Technological University,2008,28(6):511-515.(in Chinese) [4] 赵缨慰,付秀华,李珊,等 .多功能抗激光损伤高反射膜[J]. 中国光学与应用光学 ,2010,3(3): 274-278. ZHAO Y W,FU X H,LI SH,et al.. Anti-laser induced damage high reflectance film with multifunction[J]. Chinese J. Opt. Appl. Optics,2010,3(3):274-278.(in Chinese) [5] 黄光伟,田维坚,卜江萍. 超宽带增透膜新的设计法[J]. 光子学报 ,2007,36(9):1694-1696. HUANG G W,TIAN W J,BU J P. New design of super wide bandwidth anti-reflection film[J]. Acta Photonica Sinica,2007,36(9):1694-1696.(in chinese) [6] GOTZELMANN Z R,MATL K,CUSHING D. Temperature-stable bandpass filters deposited with plasma ion-assisted deposition[J]. Appl. Opt. Exp.,1996,35(28):5609-5612. [7] 喻志农,相龙锋,薛唯,等. 离子辅助反应蒸发技术室温制备ITO薄膜[J]. 北京理工大学学报 ,2007,27(10):924-927. YU ZH N,xianG L F,XUE W,et al.. Preparation of ITO films deposited at room temperature by ion beam-assisted reactive evaporation[J]. Journal of Beijing Institute of Technology,2007,27(10):924-927.(in Chinese) [8] 冯丽萍. 蓝宝石衬底上中波红外增透保护膜系的设计、制备及性能 .西安:西北工业大学,2006. FENG L P. Design, preparation and properties of middle-wave infrared antireflective and protective films on sapphire substrates . xian:Northwestern Polytechnical University,2006. [9] 顾培夫,陈海星,艾曼灵,等 .TiO2膜消光系数的确定及制备参量的影响[J]. 光学学报 ,2005,25(7):1005-1008. GU P F,CHEN H X,AI M L,et al.. Determination of the extinction coefficient of TiO2 and effect of preparation parameters[J]. Acta Opt. Sinica,2005,25(7):1005-1008.(in Chinese) [10] 唐晋发,顾培夫,刘旭,等.现代光学薄膜技术[M]. 杭州:浙江大学出版社,2006. TANG J F,GU P F,LIU X,et al.. Modern Optical Thin Film Technology[M]. Hangzhou:Zhejiang University Press,2006.(in Chinese) [11] 王晓强,甄聪棉,李明亚. TiO2/SiO2复合薄膜的结构表征及光学特性研究[J]. 稀有金属材料与工程 ,2008,37(增1):545-547. WANG X Q,ZHEN C M,LI M Y. Structure and optical properties of TiO2/SiO2 composite films[J]. Rare Metal Materials and En.,2008,37(s1):545-547.(in Chinese)
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2341
  • HTML全文浏览量:  91
  • PDF下载量:  879
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2012-01-21
  • 修回日期:  2012-03-23
  • 刊出日期:  2012-06-10

目录

    /

    返回文章
    返回