留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

孙振 巩岩

孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
引用本文: 孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
Citation: SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401

光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

doi: 10.3788/CO.20120504.0401
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.40974110)

详细信息
    通讯作者:

    孙振

  • 中图分类号: TH703;TH132

Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective

  • 摘要: 针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236 mm、调整精度为NA0.003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数,得到了光阑各组件的结构参数,并采用部分齿轮减小了运动机构的质量和摩擦。为了保证光阑的调整精度和材料应力要求,对光阑的各个部件进行强度校验并对其固有频率进行了分析。结果表明:光阑的关键受力部件(如连接铆钉及传动齿轮)的应力均满足要求,光阑片的固有频率间不存在密频现象。结果证明了提出结构的合理性。
  • [1] 董莉莉,金宏. 采用可变光阑的自动调光系统的稳定性分析[J]. 光学 精密工程 ,1999,7(1):100-104. DONG L L,JIN H. The stabilization analysis of automatically adjustable optical-intensity system using iris diaphragm[J]. Opt. Precision Eng.,1999,7(1):100-104.(in Chinese) [2] 李为,李德熊,陈南光.摄影仪器[M]. 北京:北京理工大学出版社,1993. LI W,LI D X,CHEN N G. Photography Apparatus[M]. Beijing:Beijing University of Technology,1993.(in Chinese) [3] 王义龙. 特殊口径调光系统的研制及其实验研究 .哈尔滨:哈尔滨工业大学,2007. WANG Y L. Development of the special caliber dimming system and its experimental study . Harbin:Graduate Harbin Institute of Technology,2007.(in Chinese) [4] 巩岩,张巍. 光刻曝光系统的现状与发展[J]. 中国光学与应用光学 ,2008,1(1):25-35. GONG Y,ZHANG W. Present status and progress in 193 nm exposure system in lithography[J]. Chinese J. Opt. Appl. Opt.,2008,1(1):25-35.(in Chinese) [5] 王丽萍. 极紫外投影光刻光学系统[J]. 中国光学与应用光学 ,2010,3(5):452-461. WANG L P. Optical system of extreme ultraviolet lithography[J]. Chinese J. Opt. Appl. Opt.,2010,3(5):452-461.(in Chinese) [6] 《光学仪器设计手册》编辑组.光学仪器设计手册[M]. 北京:国防工业出版社,1972. Editor group of 《Optics Apparatus Design Manual》. Optics Apparatus Design Manual[M]. Beijing:National Defence Industry Press,1972.(in Chinese) [7] 常远,甄万才. 齿轮传动与蜗轮蜗杆传动性能比较与消隙机构[J]. 电子工业专用设备 ,2007,(144):74-76. CHANG Y,ZHEN W C. Gear and worm-wheel steering gear's performances comparison and backlash eliminated structure[J]. Equipment Electronic Products Manufacturing,2007,(144):74-76.(in Chinese) [8] 程文冬,曹岩. 直齿轮啮合疲劳强度的有限元仿真与失效分析[J]. 西安工业大学学报 ,2010,30(3):239-242. CHENG W D,CAO Y. Simulation study of meshing fatigue strength of involute cylinder gear[J]. J. Xi'an Technological University,2010,30(3):239-242.(in Chinese)
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2299
  • HTML全文浏览量:  105
  • PDF下载量:  913
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2012-03-21
  • 修回日期:  2012-05-23
  • 刊出日期:  2012-08-10

目录

    /

    返回文章
    返回