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光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

孙振 巩岩

孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
引用本文: 孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
Citation: SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401

光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

doi: 10.3788/CO.20120504.0401
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.40974110)

详细信息
    通讯作者: 孙振
  • 中图分类号: TH703;TH132

Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-03-21
  • 修回日期:  2012-05-23
  • 刊出日期:  2012-08-10

光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

doi: 10.3788/CO.20120504.0401
    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(No.40974110)

    通讯作者: 孙振
  • 中图分类号: TH703;TH132

摘要: 针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236 mm、调整精度为NA0.003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数,得到了光阑各组件的结构参数,并采用部分齿轮减小了运动机构的质量和摩擦。为了保证光阑的调整精度和材料应力要求,对光阑的各个部件进行强度校验并对其固有频率进行了分析。结果表明:光阑的关键受力部件(如连接铆钉及传动齿轮)的应力均满足要求,光阑片的固有频率间不存在密频现象。结果证明了提出结构的合理性。

English Abstract

孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
引用本文: 孙振, 巩岩. 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
Citation: SUN Zhen, GONG Yan. Design and analysis of iris diaphragm structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 401-406. doi: 10.3788/CO.20120504.0401
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