留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

王平 田伟 王汝冬 王立朋

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
引用本文: 王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
Citation: WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

doi: 10.3788/CO.20130601.0057
基金项目: 

国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205)

详细信息
    作者简介:

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    通讯作者:

    王平

  • 中图分类号: TH703;TN305.7

Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens

  • 摘要: 为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。

     

  • [1] NICHOLAS F B,CHARLENE S,DOUGLAS C A,et al.. Densification of fused silica under 193-nm excitation[J]. J. Opt. Soc. Am. B,1997,14(7):1606-1615. [2] CHARLENE M S,NICHOLAS F B. Behavior of 157 nm excimer-laser-induced refractive index changes in silica[J]. J. Opt. Soc. Am. B,2006,23(9):1815-1821. [3] YASUYUKI U. Distorted wave front produced by a high-resolution projection optical system having rotationally symmetric birefringence[J]. Appl. Opt.,1998,37(31):7241-7247. [4] LIJUAN S,YANG C,ALLEN Y Y,et al... Refractive index variation in compression molding of precision glass optical components[J]. Appl. Opt.,2008,47(10):1662-1667. [5] 杨光华,李艳秋. 22 nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响[J]. 光学学报,2012,32(3):0322005. YANG G H,LI Y Q. Thermal and structural deformation of projection optics and its influence on optical imaging performance for 22 nm extreme ultraviolet lithography[J]. Acta Optica Sinica,2012,32(3):0322005.(in Chinese) [6] 王平,王汝冬,田伟,等. Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析[J]. 光学 精密工程,2011,19(9):2100-2107. WANG P,WANG R D,TIAN W,et al.. Design and analysis of thermal stability for main frame in Fizeau interferometer[J]. Opt. Precision Eng.,2011,19(9):2100-2107.(in Chinese) [7] 齐文宗,黄伟,张彬,等. DF强激光反射镜热畸变的检测及热吸收的有限元分析[J]. 中国激光,2005,32(3):379-383. QI W Z,HUANG W,ZHANG B,et al.. Thermal distortion measurements and absorption analysis by finite element method of high power DF laser reflectors[J]. Chinese J Lasers,2005,32(3):379-383.(in Chinese) [8] 冯志庆,白兰,张增宝,等. 高能激光反射镜热变形补偿[J]. 光学 精密工程,2010,18(8):1781-1787. FENG ZH Q,BAI L,ZHANG Z B,et al.. Thermal deformation compensation of high-energy laser mirrors[J]. Opt. Precision Eng.,2010,18(8):1781-1787. (in Chinese) [9] 章亚男,沈丽丽,沈卫星,等. 大口径透镜姿态调整机构的支撑分布设计[J]. 光学 精密工程,2010,18(12):2624-2632. ZHANG Y N,SHEN L L,SHEN W X,et al.. Design of support distribution for attitude-adjusting mechanism of large lens[J]. Opt. Precision Eng.,2010,18(12):2624-2632.(in Chinese) [10] 杜少军,陆启生,舒柏宏. 激光窗口热效应和应力双折射的分析[J]. 强激光与粒子束,2004,16(5):575-581. DU SH J,LU Q SH,SHU B H. Analysis on thermal effect and stress-birefringence of laser window[J]. High Power Laser And Particle Beams,2004,16(5):575-581.(in Chinese) [11] 徐新华,王青,宋波,等. 基于子孔径拼接技术的大尺寸光学材料均匀性检测系统[J]. 光学学报,2012,32(4):0412002. XU X H,WANG Q,SONG B,et al.. Measurement system of optical homogeneity of large-size optical material based on subaperture stitching technique[J]. Acta Optica Sinica,2012,32(4):0412002.(in Chinese) [12] 李熙斌,王海军,袁晓东,等. CO2激光辐照对融石英表面形貌与应力分布的影响 [J]. 中国激光,2011,38(9):0903002. LI X B,WANG H J,YUAN X D,et al.. Effects of CO2 laser irradiation on surface morphology and stress distribution of fused silica[J]. Chinese J. Lasers,2011,38(9):0903002.(in Chinese) [13] 袁文泉,巩岩. 光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究[J]. 光学学报,2011,31(12):1222003. YUAN W Q,GONG Y. Study on characteristics of Aberrations for an Active liquid lens in lithographic objective lens[J]. Acta Optica Sinica,2011,31(12):1222003.(in Chinese) [14] 王辉. 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析[J]. 中国光学与应用光学,2010,3(6):598-604. WANG H. Objective optical mounts and analysis for EUVL[J]. Chinese J. Optics and Appl. Optics,2010,3(6):598-604.(in Chinese) [15] 玻恩,沃尔夫.光学原理[M].杨葭孙,译. 北京:科学出版社,1978:182-190. BORN M,WOLF E. Principles of Optics[M]. YANG J S,Transl. Beijing:Science Press,1978:182-190.(in Chinese) [16] GRENINGER C E,NEEDHAM G A,JR J R. Optical distortions and birefringence in high power laser windows:model and computer code[J]. Appl. Opt.,1985,24(17):2797-2803.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2674
  • HTML全文浏览量:  103
  • PDF下载量:  840
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-13
  • 修回日期:  2012-11-15
  • 刊出日期:  2013-02-10

目录

    /

    返回文章
    返回