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支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

王平 田伟 王汝冬 王立朋

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
引用本文: 王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
Citation: WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

doi: 10.3788/CO.20130601.0057
基金项目: 

国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205)

详细信息
    作者简介:

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    通讯作者: 王平
  • 中图分类号: TH703;TN305.7

Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens

  • 摘要: 为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-13
  • 修回日期:  2012-11-15
  • 刊出日期:  2013-02-10

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

doi: 10.3788/CO.20130601.0057
    基金项目:

    国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205)

    作者简介:

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    王 平(1984—),男,辽宁鞍山人,硕士,研究实习员,2006年于大连理工大学获得学士学位,2009年于上海交通大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:alex.wongp@gmail.com;田 伟(1983—),男,河北秦皇岛人,研究实习员,2006年于中国地质大学获得学士学位,2009年于北京科技大学获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:tw_919@163.com;王汝冬(1982—),男,江苏徐州人,研究实习员,2006年于北京航空航天大学获得学士学位,2009年于上海航天设计研究所获得硕士学位,主要从事光学仪器结构的研究。E-mail:rudong1415@163.com;王立朋(1954—),男,吉林长春人,高级工程师,主要从事光学仪器的设计和研制方面的研究。

    通讯作者: 王平
  • 中图分类号: TH703;TN305.7

摘要: 为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。

English Abstract

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
引用本文: 王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
Citation: WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57-63. doi: 10.3788/CO.20130601.0057
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