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菲索干涉仪中精确移相的实现

苏志德 史振广 彭吉 隋永新 杨怀江

苏志德, 史振广, 彭吉, 隋永新, 杨怀江. 菲索干涉仪中精确移相的实现[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(2): 244-250. doi: 10.3788/CO.20130602.0244
引用本文: 苏志德, 史振广, 彭吉, 隋永新, 杨怀江. 菲索干涉仪中精确移相的实现[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(2): 244-250. doi: 10.3788/CO.20130602.0244
SU Zhi-de, SHI Zhen-guang, PENG Ji, SUI Yong-xin, YANG Huai-jiang. Implementation of accurate phase shift in Fizeau interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 244-250. doi: 10.3788/CO.20130602.0244
Citation: SU Zhi-de, SHI Zhen-guang, PENG Ji, SUI Yong-xin, YANG Huai-jiang. Implementation of accurate phase shift in Fizeau interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 244-250. doi: 10.3788/CO.20130602.0244

菲索干涉仪中精确移相的实现

doi: 10.3788/CO.20130602.0244
基金项目: 

国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205)

详细信息
    作者简介:

    苏志德(1985—),男,河北邢台人,博士研究生,2008年于吉林大学获得学士学位,主要从事干涉仪移相技术及标定方法的研究。E-mail:suzhide111@gmail.com;史振广(1984—),男,湖北天门人,助理研究员,2006年、2009年于西北工业大学分别获得学士、硕士学位,主要从事光学元件检测方面的研究。E-mail:shizg@ciomp.ac.cn

    苏志德(1985—),男,河北邢台人,博士研究生,2008年于吉林大学获得学士学位,主要从事干涉仪移相技术及标定方法的研究。E-mail:suzhide111@gmail.com;史振广(1984—),男,湖北天门人,助理研究员,2006年、2009年于西北工业大学分别获得学士、硕士学位,主要从事光学元件检测方面的研究。E-mail:shizg@ciomp.ac.cn

    通讯作者:

    隋永新, E-mail:suiyx@sklao.ac.cn

  • 中图分类号: TH744.3

Implementation of accurate phase shift in Fizeau interferometer

  • 摘要: 为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程。最后,对移相器的性能进行了标定。在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得/11 340的RMS测量重复性。对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为0.9 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-12-11
  • 修回日期:  2013-02-17
  • 刊出日期:  2013-04-10

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