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用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

王二伟 鱼卫星 王成 卢振武

王二伟, 鱼卫星, 王成, 卢振武. 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距[J]. 中国光学, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
引用本文: 王二伟, 鱼卫星, 王成, 卢振武. 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距[J]. 中国光学, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
WANG Er-wei, YU Wei-xing, WANG Cheng, LU Zhen-wu. Nanogap measurement by using surface plasmon resonance sensor[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
Citation: WANG Er-wei, YU Wei-xing, WANG Cheng, LU Zhen-wu. Nanogap measurement by using surface plasmon resonance sensor[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259

用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

doi: 10.3788/CO.20130602.0259
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.90923036,No.60977041,No. 60877021,No.61077010);中科院百人计划资助项目

详细信息
    作者简介:

    王二伟(1985—),男,河南驻马店人,博士研究生,2007年于黑龙江大学获得学士学位,2010年于东北师范大学获得硕士学位,主要从事光学检测、激光直写等方面的研究。E-mail:xiaoweierdai@163.com;鱼卫星(1975—),男,陕西临潼人,博士后,研究员,博士生导师,1998年于西北工业大学获得学士学位,2001年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得硕士学位,2004年于新加坡南洋理工大学获博士学位,主要从事亚波长光学、微/纳光学、微细加工技术、三维微纳加工技术等方面的研究。E-mail:yuwx17@hotmail.com

    王二伟(1985—),男,河南驻马店人,博士研究生,2007年于黑龙江大学获得学士学位,2010年于东北师范大学获得硕士学位,主要从事光学检测、激光直写等方面的研究。E-mail:xiaoweierdai@163.com;鱼卫星(1975—),男,陕西临潼人,博士后,研究员,博士生导师,1998年于西北工业大学获得学士学位,2001年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得硕士学位,2004年于新加坡南洋理工大学获博士学位,主要从事亚波长光学、微/纳光学、微细加工技术、三维微纳加工技术等方面的研究。E-mail:yuwx17@hotmail.com

    通讯作者: 鱼卫星, E-mail:yuwx17@hotmail.com
  • 中图分类号: O436.1;TB92

Nanogap measurement by using surface plasmon resonance sensor

More Information
    Corresponding author: YU Wei-xing
  • 摘要: 结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5~0.5 m变化时,位相改变量可实现-150~150的变化,检测灵敏度1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-12-12
  • 修回日期:  2013-02-16
  • 刊出日期:  2013-04-10

用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

doi: 10.3788/CO.20130602.0259
    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(No.90923036,No.60977041,No. 60877021,No.61077010);中科院百人计划资助项目

    作者简介:

    王二伟(1985—),男,河南驻马店人,博士研究生,2007年于黑龙江大学获得学士学位,2010年于东北师范大学获得硕士学位,主要从事光学检测、激光直写等方面的研究。E-mail:xiaoweierdai@163.com;鱼卫星(1975—),男,陕西临潼人,博士后,研究员,博士生导师,1998年于西北工业大学获得学士学位,2001年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得硕士学位,2004年于新加坡南洋理工大学获博士学位,主要从事亚波长光学、微/纳光学、微细加工技术、三维微纳加工技术等方面的研究。E-mail:yuwx17@hotmail.com

    王二伟(1985—),男,河南驻马店人,博士研究生,2007年于黑龙江大学获得学士学位,2010年于东北师范大学获得硕士学位,主要从事光学检测、激光直写等方面的研究。E-mail:xiaoweierdai@163.com;鱼卫星(1975—),男,陕西临潼人,博士后,研究员,博士生导师,1998年于西北工业大学获得学士学位,2001年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得硕士学位,2004年于新加坡南洋理工大学获博士学位,主要从事亚波长光学、微/纳光学、微细加工技术、三维微纳加工技术等方面的研究。E-mail:yuwx17@hotmail.com

    通讯作者: 鱼卫星, E-mail:yuwx17@hotmail.com
  • 中图分类号: O436.1;TB92

摘要: 结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5~0.5 m变化时,位相改变量可实现-150~150的变化,检测灵敏度1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点。

English Abstract

王二伟, 鱼卫星, 王成, 卢振武. 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距[J]. 中国光学, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
引用本文: 王二伟, 鱼卫星, 王成, 卢振武. 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距[J]. 中国光学, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
WANG Er-wei, YU Wei-xing, WANG Cheng, LU Zhen-wu. Nanogap measurement by using surface plasmon resonance sensor[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
Citation: WANG Er-wei, YU Wei-xing, WANG Cheng, LU Zhen-wu. Nanogap measurement by using surface plasmon resonance sensor[J]. Chinese Optics, 2013, 6(2): 259-266. doi: 10.3788/CO.20130602.0259
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