留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

姜振华 王挺峰 郭劲

姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
引用本文: 姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in 'LPP-EUV' light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
Citation: JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in "LPP-EUV" light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544

“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

doi: 10.3788/CO.20130604.0544
基金项目: 

吉林省重大科技攻关专项(No.20120615)

详细信息
    作者简介:

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    通讯作者: 姜振华
  • 中图分类号: TN248.2;TP273

Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in "LPP-EUV" light source

  • 摘要: 为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%~100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10 rad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。
  • [1] 谢常青,叶甜春. 极端远紫外光刻技术[J]. 半导体情报,2011,38(5):28-32. XIE C Q,YE T CH. Extreme ultraviolet lithography technology[J]. Semiconductor Information,2011,38(5):28-32.(in Chinese) [2] 王占山,曹建林,陈星旦. 极紫外投影光刻技术[J]. 科学通报,1998,43(8):785-791. WANG Z SH,CAO J L,CHEN X D. Extreme ultraviolet lithography technology[J]. Chinese Science Bull.,1998,43(8):785-791.(in Chinese) [3] 窦银萍,孙长凯,林景全. 激光等离子体极紫外光刻光源[J]. 中国光学,2013,6(1):20-33. DOU Y P,SUN CH K,LIN J Q. Laser-produced plasma light source for extreme ultraviolet lithography[J]. Chinese Optics,2013,6(1):20-33.(in Chinese) [4] SONG I H,WATANABE M,HAYASHI Y,et al.. Experimental study of capillary Z-pinch discharge plasma for EUV lithography [C]//31st EPS Conference on Plasma Phys,Jun 28-July 2,2004,London,UK,2004. [5] 程元丽,李思宁,王骐.激光等离子体和气体放电EUV光刻光源[J]. 激光技术,2004,28(6):561-564. CHENG Y L,LI S N,WANG Q. Extreme ultraviolet source of microlithography based on laser induced plasma and discharge induced plasma[J]. Laser Technology,2004,28(6):561-564.(in Chinese) [6] MATSUOKA Y,NAKAI Y,FUJIOKA S,et al.. Comparative and quantitative study of neutral debris emanated from tin plasmas produced by neodymium-doped yttrium-aluminum-garnet and carbon dioxide laser pulses[J]. Appl. Phys. Lett.,2010,97:111502 [7] TAO Y,TILLACK M S,SEQUOIA K L,et al.. Efficient 13.5 nm extreme ultraviolet emission from Sn plasma irradiated by a lon CO2 laser pulse[J]. Appl. Phys. Lett..,2008,92:251501 [8] EUV radiation characteristics of a CO2 laser produced Xe plasma[J]. Appl. Physics B,2006,83(2):213-218 [9] 吴伟伟,唐军,吴兆杰. 高能脉冲激光远场多参量测试系统设计[J]. 光学与光电技术,2011,9(1):9-12. WU W W,TANG J,WU ZH J. Design of far-field muti-parameters testing system for high-energy pulsed laser[J]. Opt. Optoelectronic Technol.,2011,9(1):9-12.(in Chinese) [10] 刘芳,徐嘉,张燕,等. 光学器件微振动引起的光束指向稳定性分析[J]. 光学学报,2011,31(11):1120001-7. LIU F,XU J,ZHANG Y,et al.. Analysis on beam directing stability problem caused by micro-vibration of optical components[J]. Acta Optica Sinc,2011,31(11):1120001-7.(in Chinese) [11] 王思雯,郭立红,赵帅,等. 高功率CO2激光对远场HgCdTe探测器的干扰实验[J]. 光学 精密工程,2010,18 (4):798-804. WANG S W,GUO L H,ZHAO SH,et al.. Experiments of high-power CO2 laser disturbance to far-field HgCdTe detectors[J]. Opt. Precision Eng.,2010,18(4):798-804.(in Chinese) [12] LUBLINA L,WARKENTINA D,DAS P P,et al.. High-performance beam stabilization for next-generation arf beam delivery systems[J]. SPIE,2003,5040:1682-1693. [13] FUJIMOTO J,OHTA T,NOWAK K M,et al.. Development of the reliable 20 kW class pulsed carbon dioxide laser system for LPP EUV light source[J]. SPIE,2011,7969:79692S.
  • [1] 宗楠, 胡蔚敏, 王志敏, 王小军, 张申金, 薄勇, 彭钦军, 许祖彦.  激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 . 中国光学, 2020, 13(1): 28-42. doi: 10.3788/CO.20201301.0028
    [2] 高瑞弘, 刘河山, 罗子人, 靳刚.  太极计划激光指向调控方案介绍 . 中国光学, 2019, 12(3): 425-431. doi: 10.3788/CO.20191203.0425
    [3] 潘其坤, 俞航航, 陈飞, 谢冀江, 何洋, 于德洋, 张阔.  声光偏转快调谐脉冲CO2激光器实验研究 . 中国光学, 2019, 12(2): 355-361. doi: 10.3788/CO.20191202.0355
    [4] 陈健, 高慧斌.  高重频CO2激光干扰技术研究 . 中国光学, 2018, 11(6): 983-990. doi: 10.3788/CO.20181106.0983
    [5] 张鲁薇, 王卫兵, 王锐, 王挺峰, 郭劲.  基于正解过程的Risley棱镜光束指向控制精度分析 . 中国光学, 2017, 10(4): 507-513. doi: 10.3788/CO.20171004.0507
    [6] 尼启良.  使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的软X射线-极紫外光子计数成像探测器研究 . 中国光学, 2015, 8(5): 847-872. doi: 10.3788/CO.20150805.0847
    [7] 王珣, 金春水, 匡尚奇, 喻波.  极紫外光学器件辐照污染检测技术 . 中国光学, 2014, 7(1): 79-88. doi: 10.3788/CO.20140701.079
    [8] 徐艳, 谢冀江, 李殿军, 杨贵龙, 陈飞.  CO2激光调Q技术 . 中国光学, 2014, 7(2): 196-207. doi: 10.3788/CO.20140702.0196
    [9] 范大鹏, 周远, 鲁亚飞, 黑墨, 熊飞湍, 李凯.  旋转双棱镜光束指向控制技术综述 . 中国光学, 2013, 6(2): 136-150. doi: 10.3788/CO.20130602.0136
    [10] 窦银萍, 孙长凯, 林景全.  激光等离子体极紫外光刻光源 . 中国光学, 2013, 6(1): 20-33. doi: 10.3788/CO.20130601.0020
    [11] 王晓铭, 郭劲, 郭汝海, 王挺峰.  大功率TEA CO2非稳腔激光器的远场传输特性 . 中国光学, 2012, 5(6): 671-676. doi: 10.3788/CO.20120506.0671
    [12] 张兴亮, 郭立红, 张传胜, 孟范江.  CO2激光器高压脉冲触发系统的设计 . 中国光学, 2012, 5(4): 416-422. doi: 10.3788/CO.20120504.0416
    [13] 潘其坤, 谢冀江, 阮鹏, 张来明, 张传胜.  声光调Q CO2激光器的输出特性 . 中国光学, 2012, 5(3): 283-288. doi: 10.3788/CO.20120503.0283
    [14] 王鹤淇, 孟范江, 郭立红, 管目强.  基于DSP的高功率TEACO2激光器控制 系统的高精度数据采集 . 中国光学, 2011, 4(4): 411-417.
    [15] 杨贵龙, 邵春雷, 孟范江, 郭汝海, 李殿军, 郭劲, 郭立红.  大功率脉冲TEA CO2激光器配气比对输出的影响 . 中国光学, 2009, 2(3): 231-235.
    [16] 李世明, 李殿军, 杨贵龙, 邵春雷, 郭汝海.  大功率TEA CO2激光器旋转火花开关电极烧蚀实验 . 中国光学, 2009, 2(3): 263-268.
    [17] 郭汝海, 李殿军, 杨贵龙, 张来明.  大功率TEA CO2激光器非稳腔的设计与实验 . 中国光学, 2009, 2(3): 253-257.
    [18] 耿玉民, 李殿军.  TEA CO2激光器均匀场电极的设计 . 中国光学, 2009, 2(3): 258-262.
    [19] 张传胜, 李殿军, 杨贵龙, 邵春雷, 耿玉民, 谢冀江, 李世明, 郭汝海, 李晓惕.  大功率TEA CO2激光器的脉冲激励电源 . 中国光学, 2009, 2(3): 242-247.
    [20] 谢冀江, 李殿军, 张传胜.  小型多功能CO2激光器 . 中国光学, 2009, 2(3): 248-252.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  1377
  • HTML全文浏览量:  71
  • PDF下载量:  721
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-04-11
  • 修回日期:  2013-06-17
  • 刊出日期:  2013-08-10

“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

doi: 10.3788/CO.20130604.0544
    基金项目:

    吉林省重大科技攻关专项(No.20120615)

    作者简介:

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    通讯作者: 姜振华
  • 中图分类号: TN248.2;TP273

摘要: 为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%~100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10 rad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。

English Abstract

姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
引用本文: 姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in 'LPP-EUV' light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
Citation: JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in "LPP-EUV" light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
参考文献 (1)

目录

    /

    返回文章
    返回