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“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

姜振华 王挺峰 郭劲

姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
引用本文: 姜振华, 王挺峰, 郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in 'LPP-EUV' light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544
Citation: JIANG Zhen-hua, WANG Ting-feng, GUO Jin. Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in "LPP-EUV" light source[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 544-550. doi: 10.3788/CO.20130604.0544

“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

doi: 10.3788/CO.20130604.0544
基金项目: 

吉林省重大科技攻关专项(No.20120615)

详细信息
    作者简介:

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    姜振华(1984-),男,吉林长春人,硕士,研究实习员,2011年于哈尔滨工业大学获得硕士学位,主要从事光束控制、自动控制等领域的研究。E-mail:pily09@163.com;王挺峰(1977-),男,山东文登人,副研究员,硕士生导师,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光电测控与光电总体技术研究。E-mail:wtfeng@sina.com

    通讯作者:

    姜振华

  • 中图分类号: TN248.2;TP273

Monitoring and controlling system for high power CO2 laser in "LPP-EUV" light source

  • 摘要: 为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%~100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10 rad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-04-11
  • 修回日期:  2013-06-17
  • 刊出日期:  2013-08-10

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