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基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜

曲锋 朱华新 刘桂林 李帅 孙强

曲锋, 朱华新, 刘桂林, 李帅, 孙强. 基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
引用本文: 曲锋, 朱华新, 刘桂林, 李帅, 孙强. 基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
QU Feng, ZHU Hua-xin, LIU Gui-lin, LI Shuai, SUN Qiang. Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
Citation: QU Feng, ZHU Hua-xin, LIU Gui-lin, LI Shuai, SUN Qiang. Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551

基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜

doi: 10.3788/CO.20130604.0551
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.60977001);吉林省科技厅资助项目(No.20106015,No.20125092);吉林省与中国科学院合作长吉图开发开放先导区科技创新合作专项资助项目(No.2011CJT0004)

详细信息
    作者简介:

    曲锋(1984-),男,山东泰安人,博士,助理研究员,主要从事光学、图像处理等方面的研究。E-mail:quf@ciomp.ac.cn;朱华新(1983-),男,江苏宜兴人,博士,讲师,主要从事光学镀膜设计、制备、检测等方面的研究。E-mail:zhuhuaxin1312@163.com

    曲锋(1984-),男,山东泰安人,博士,助理研究员,主要从事光学、图像处理等方面的研究。E-mail:quf@ciomp.ac.cn;朱华新(1983-),男,江苏宜兴人,博士,讲师,主要从事光学镀膜设计、制备、检测等方面的研究。E-mail:zhuhuaxin1312@163.com

    通讯作者: 曲锋
  • 中图分类号: O484.41

Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate

  • 摘要: 以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4~0.8 m的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明:薄膜平均透过率达98.15%,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性,减少了表面剩余反射。机械强度与环境测试表明:制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度,可以应用于可靠性要求较高的光学系统中。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-03-12
  • 修回日期:  2013-05-13
  • 刊出日期:  2013-08-10

基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜

doi: 10.3788/CO.20130604.0551
    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(No.60977001);吉林省科技厅资助项目(No.20106015,No.20125092);吉林省与中国科学院合作长吉图开发开放先导区科技创新合作专项资助项目(No.2011CJT0004)

    作者简介:

    曲锋(1984-),男,山东泰安人,博士,助理研究员,主要从事光学、图像处理等方面的研究。E-mail:quf@ciomp.ac.cn;朱华新(1983-),男,江苏宜兴人,博士,讲师,主要从事光学镀膜设计、制备、检测等方面的研究。E-mail:zhuhuaxin1312@163.com

    曲锋(1984-),男,山东泰安人,博士,助理研究员,主要从事光学、图像处理等方面的研究。E-mail:quf@ciomp.ac.cn;朱华新(1983-),男,江苏宜兴人,博士,讲师,主要从事光学镀膜设计、制备、检测等方面的研究。E-mail:zhuhuaxin1312@163.com

    通讯作者: 曲锋
  • 中图分类号: O484.41

摘要: 以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4~0.8 m的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明:薄膜平均透过率达98.15%,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性,减少了表面剩余反射。机械强度与环境测试表明:制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度,可以应用于可靠性要求较高的光学系统中。

English Abstract

曲锋, 朱华新, 刘桂林, 李帅, 孙强. 基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
引用本文: 曲锋, 朱华新, 刘桂林, 李帅, 孙强. 基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
QU Feng, ZHU Hua-xin, LIU Gui-lin, LI Shuai, SUN Qiang. Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
Citation: QU Feng, ZHU Hua-xin, LIU Gui-lin, LI Shuai, SUN Qiang. Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 551-556. doi: 10.3788/CO.20130604.0551
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