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1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化

张金胜 张金龙 宁永强 王立军

张金胜, 张金龙, 宁永强, 王立军. 1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
引用本文: 张金胜, 张金龙, 宁永强, 王立军. 1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
ZHANG Jin-sheng, ZHANG Jin-long, NING Yong-qiang, WANG Li-Jun. Design and optimization of 1 555 nm broad-bandpass filter film[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
Citation: ZHANG Jin-sheng, ZHANG Jin-long, NING Yong-qiang, WANG Li-Jun. Design and optimization of 1 555 nm broad-bandpass filter film[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557

1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化

doi: 10.3788/CO.20130604.0557
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.60876036,No.51172225,No.61204056);吉林省科技厅科技发展计划资助项目(No.201105025,No.20116011)

详细信息
    作者简介:

    张金胜(1986-),男,河南新乡人,博士研究生,2009年于中国矿业大学获得学士学位,主要从事镀膜及半导体光电子器件方面的研究。E-mail:zhangjs.ciomp@gmail.com;张金龙(1975-),男,吉林舒兰人,工程师,2007年于中国科学院长春光学精密机械与物理所获得硕士学位,主要从事无铝量子阱边发射大功率半导体激光器研究及散热、封装、镀膜工艺开发。E-mail:PLed3588@sina.com.cn

    张金胜(1986-),男,河南新乡人,博士研究生,2009年于中国矿业大学获得学士学位,主要从事镀膜及半导体光电子器件方面的研究。E-mail:zhangjs.ciomp@gmail.com;张金龙(1975-),男,吉林舒兰人,工程师,2007年于中国科学院长春光学精密机械与物理所获得硕士学位,主要从事无铝量子阱边发射大功率半导体激光器研究及散热、封装、镀膜工艺开发。E-mail:PLed3588@sina.com.cn

    通讯作者: 宁永强
  • 中图分类号: O484.1

Design and optimization of 1 555 nm broad-bandpass filter film

  • 摘要: 针对对空间通信的特殊需求,设计并制备了1 555 nm波段的高透过率、宽带通滤光膜,该滤光膜在高温高湿环境下能够稳定工作。根据薄膜设计理论,选取折射率差大的TiO2和SiO2作为镀膜材料,采用规整膜系进行膜系设计。借助Optilayer软件,采用针形优化和双面镀膜方法,得到优化的非规整膜系。采用直接与间接监控相结合的手段监控薄膜生长,并探讨了薄膜的生长条件。在电子束蒸发离子辅助沉积条件下,制备出中心波长处透过率达到97%,带宽为50 nm的滤光膜。在100℃高温和-30℃低温各保持3 h的条件下,波长漂移仅0.2 nm,具有高的稳定性和可靠性,满足空间通信的使用要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-16
  • 修回日期:  2013-07-14
  • 刊出日期:  2013-08-10

1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化

doi: 10.3788/CO.20130604.0557
    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(No.60876036,No.51172225,No.61204056);吉林省科技厅科技发展计划资助项目(No.201105025,No.20116011)

    作者简介:

    张金胜(1986-),男,河南新乡人,博士研究生,2009年于中国矿业大学获得学士学位,主要从事镀膜及半导体光电子器件方面的研究。E-mail:zhangjs.ciomp@gmail.com;张金龙(1975-),男,吉林舒兰人,工程师,2007年于中国科学院长春光学精密机械与物理所获得硕士学位,主要从事无铝量子阱边发射大功率半导体激光器研究及散热、封装、镀膜工艺开发。E-mail:PLed3588@sina.com.cn

    张金胜(1986-),男,河南新乡人,博士研究生,2009年于中国矿业大学获得学士学位,主要从事镀膜及半导体光电子器件方面的研究。E-mail:zhangjs.ciomp@gmail.com;张金龙(1975-),男,吉林舒兰人,工程师,2007年于中国科学院长春光学精密机械与物理所获得硕士学位,主要从事无铝量子阱边发射大功率半导体激光器研究及散热、封装、镀膜工艺开发。E-mail:PLed3588@sina.com.cn

    通讯作者: 宁永强
  • 中图分类号: O484.1

摘要: 针对对空间通信的特殊需求,设计并制备了1 555 nm波段的高透过率、宽带通滤光膜,该滤光膜在高温高湿环境下能够稳定工作。根据薄膜设计理论,选取折射率差大的TiO2和SiO2作为镀膜材料,采用规整膜系进行膜系设计。借助Optilayer软件,采用针形优化和双面镀膜方法,得到优化的非规整膜系。采用直接与间接监控相结合的手段监控薄膜生长,并探讨了薄膜的生长条件。在电子束蒸发离子辅助沉积条件下,制备出中心波长处透过率达到97%,带宽为50 nm的滤光膜。在100℃高温和-30℃低温各保持3 h的条件下,波长漂移仅0.2 nm,具有高的稳定性和可靠性,满足空间通信的使用要求。

English Abstract

张金胜, 张金龙, 宁永强, 王立军. 1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
引用本文: 张金胜, 张金龙, 宁永强, 王立军. 1 555 nm宽带通滤光膜的设计和优化[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
ZHANG Jin-sheng, ZHANG Jin-long, NING Yong-qiang, WANG Li-Jun. Design and optimization of 1 555 nm broad-bandpass filter film[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
Citation: ZHANG Jin-sheng, ZHANG Jin-long, NING Yong-qiang, WANG Li-Jun. Design and optimization of 1 555 nm broad-bandpass filter film[J]. Chinese Optics, 2013, 6(4): 557-562. doi: 10.3788/CO.20130604.0557
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