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高精度干涉仪针孔空间滤波器研制

张春雷 向阳 于长淞

张春雷, 向阳, 于长淞. 高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 中国光学, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
引用本文: 张春雷, 向阳, 于长淞. 高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 中国光学, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
ZHANG Chun-lei, XIANG Yang, YU Chang-song. Development of pinhole filter in high precision interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
Citation: ZHANG Chun-lei, XIANG Yang, YU Chang-song. Development of pinhole filter in high precision interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952

高精度干涉仪针孔空间滤波器研制

doi: 10.3788/CO.20130606.952
基金项目: 

国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02202-005)

详细信息
    作者简介:

    张春雷(1981-),男,吉林长春人,助理研究员,2005年于北京交通大学获得学士学位,2011年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光学检测和成像光谱仪辐射定标方面的研究。E-mail:zcll_1981@126.com

    通讯作者: 张春雷
  • 中图分类号: TH744.3

Development of pinhole filter in high precision interferometer

  • 摘要: 应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高峰值功率193 nm准分子激光器照射下的损伤阈值进行了分析。结果表明:铝材料在厚度为1.2 m处比其它金属的损伤阈值高,可达1.161010 W/cm2,且材料易于加工。利用聚焦离子束技术加工了航空铝材料样品,得到了厚度为1.2和1.5 m的针孔空间滤波器样品。扫描电镜观察其具有较好圆度和内壁粗糙度,基本满足剪切干涉仪对针孔空间滤波器的需求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-15
  • 修回日期:  2013-11-12
  • 刊出日期:  2013-12-10

高精度干涉仪针孔空间滤波器研制

doi: 10.3788/CO.20130606.952
    基金项目:

    国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02202-005)

    作者简介:

    张春雷(1981-),男,吉林长春人,助理研究员,2005年于北京交通大学获得学士学位,2011年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光学检测和成像光谱仪辐射定标方面的研究。E-mail:zcll_1981@126.com

    通讯作者: 张春雷
  • 中图分类号: TH744.3

摘要: 应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高峰值功率193 nm准分子激光器照射下的损伤阈值进行了分析。结果表明:铝材料在厚度为1.2 m处比其它金属的损伤阈值高,可达1.161010 W/cm2,且材料易于加工。利用聚焦离子束技术加工了航空铝材料样品,得到了厚度为1.2和1.5 m的针孔空间滤波器样品。扫描电镜观察其具有较好圆度和内壁粗糙度,基本满足剪切干涉仪对针孔空间滤波器的需求。

English Abstract

张春雷, 向阳, 于长淞. 高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 中国光学, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
引用本文: 张春雷, 向阳, 于长淞. 高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 中国光学, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
ZHANG Chun-lei, XIANG Yang, YU Chang-song. Development of pinhole filter in high precision interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
Citation: ZHANG Chun-lei, XIANG Yang, YU Chang-song. Development of pinhole filter in high precision interferometer[J]. Chinese Optics, 2013, 6(6): 952-957. doi: 10.3788/CO.20130606.952
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