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基于ZnS金属网栅制作工艺的改进

陈赟 李艳茹 张红胜

陈赟, 李艳茹, 张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
引用本文: 陈赟, 李艳茹, 张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
CHEN Yun, LI Yan-ru, ZHANG Hong-sheng. Improvement on fabrication technology of metallic mesh based on ZnS[J]. Chinese Optics, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
Citation: CHEN Yun, LI Yan-ru, ZHANG Hong-sheng. Improvement on fabrication technology of metallic mesh based on ZnS[J]. Chinese Optics, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131

基于ZnS金属网栅制作工艺的改进

doi: 10.3788/CO.20140701.0131
基金项目: 

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新资助项目(No.Y00332H100)

详细信息
    作者简介:

    李艳茹(1963—),女,吉林长春人,实验师,主要从事计量圆光栅复制方面的研究。E-mail:tutorye@163.com

    通讯作者: 陈赟,E-mail:tutorchy@163.com
  • 中图分类号: TN305.7;TN972

Improvement on fabrication technology of metallic mesh based on ZnS

  • 摘要: 为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8 m、周期为400 m的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-10-11
  • 修回日期:  2013-12-15
  • 刊出日期:  2014-01-25

基于ZnS金属网栅制作工艺的改进

doi: 10.3788/CO.20140701.0131
    基金项目:

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新资助项目(No.Y00332H100)

    作者简介:

    李艳茹(1963—),女,吉林长春人,实验师,主要从事计量圆光栅复制方面的研究。E-mail:tutorye@163.com

    通讯作者: 陈赟,E-mail:tutorchy@163.com
  • 中图分类号: TN305.7;TN972

摘要: 为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8 m、周期为400 m的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。

English Abstract

陈赟, 李艳茹, 张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
引用本文: 陈赟, 李艳茹, 张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
CHEN Yun, LI Yan-ru, ZHANG Hong-sheng. Improvement on fabrication technology of metallic mesh based on ZnS[J]. Chinese Optics, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
Citation: CHEN Yun, LI Yan-ru, ZHANG Hong-sheng. Improvement on fabrication technology of metallic mesh based on ZnS[J]. Chinese Optics, 2014, 7(1): 131-136. doi: 10.3788/CO.20140701.0131
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