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碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测

李俊峰

李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学(中英文), 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
引用本文: 李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学(中英文), 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
Citation: LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287

碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测

doi: 10.3788/CO.20140702.0287
基金项目: 

国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目

详细信息
    作者简介:

    李俊峰(1980-),男,吉林长春人,博士,副研究员,主要从事大口径非球面的加工与检测技术方面的研究。E-mail:ljf220@sohu.com

    通讯作者:

    李俊峰,E-mail:ljf220@sohu.com

  • 中图分类号: TH706

Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror

  • 摘要: 为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔,并对其控制精度进行了分析;最后,针对158mm的凸非球面,给出了双摆轴加工的检验结果,并对检测精度进行了分析。实验结果表明:应用双摆轴加工工艺在使低频误差快速收敛的同时,可以有效抑制中频误差,其低频误差的控制精度可以稳定地达到/30(=633 nm);应用测杆装调Hindle检测光路的控制极限误差为0.065 mm,两个光学间隔参数的公差分别为0.22 mm和0.30 mm。应用双摆轴加工技术实现了凸非球面的快速加工与全频段质量控制,采用Hindle检测凸非球面得到面形精度为0.022(RMS,@633 nm),满足光学设计技术指标要求。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-18
  • 修回日期:  2014-02-15
  • 刊出日期:  2014-03-25

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