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透明软质薄膜的表面形貌测量

刘淑杰 张元良 张洪潮

刘淑杰, 张元良, 张洪潮. 透明软质薄膜的表面形貌测量[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 326-331. doi: 10.3788/CO.20140702.0326
引用本文: 刘淑杰, 张元良, 张洪潮. 透明软质薄膜的表面形貌测量[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 326-331. doi: 10.3788/CO.20140702.0326
LIU Shu-jie, ZHANG Yuan-liang, ZHANG Hong-chao. Profile measurement of thin transparentsoft film surface[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 326-331. doi: 10.3788/CO.20140702.0326
Citation: LIU Shu-jie, ZHANG Yuan-liang, ZHANG Hong-chao. Profile measurement of thin transparentsoft film surface[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 326-331. doi: 10.3788/CO.20140702.0326

透明软质薄膜的表面形貌测量

doi: 10.3788/CO.20140702.0326
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.51205043);高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(No.20120041120033)

详细信息
    作者简介:

    张元良(1959-),男,博士,副教授,1998年于大连理工大学获得博士学位,主要从事精密测量、测控技术与仪器方面的研究。E-mail:zlygzh@yahoo.com.cn

    通讯作者: 刘淑杰,E-mail:liushujie@dlut.edu.cn
  • 中图分类号: O436.1;TB92;TP394.1

Profile measurement of thin transparentsoft film surface