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点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

代晓珂 金春水 于杰

代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855-862. doi: 10.3788/CO.20140705.0855
引用本文: 代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855-862. doi: 10.3788/CO.20140705.0855
DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855-862. doi: 10.3788/CO.20140705.0855
Citation: DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855-862. doi: 10.3788/CO.20140705.0855

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

doi: 10.3788/CO.20140705.0855
基金项目: 

应用光学国家重点实验室基金资助项目(No.09Q03FQM90)

详细信息
    通讯作者:

    金春水,E-mail:jincs@sklao.ac.cn

  • 中图分类号: O436.1

Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer

  • 摘要: 为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5,跳径时偏离系数为0.5%。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-12
  • 修回日期:  2014-08-14
  • 刊出日期:  2014-09-25

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