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差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用

汤兆鑫 黄玮 许伟才 刘立峰 徐象如

汤兆鑫, 黄玮, 许伟才, 刘立峰, 徐象如. 差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用[J]. 中国光学, 2014, 7(6): 1003-1011. doi: 10.3788/CO.20140706.1003
引用本文: 汤兆鑫, 黄玮, 许伟才, 刘立峰, 徐象如. 差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用[J]. 中国光学, 2014, 7(6): 1003-1011. doi: 10.3788/CO.20140706.1003
TANG Zhao-xin, HUANG Wei, XU Wei-cai, LIU Li-feng, XU Xiang-ru. Application of differential pentaprism scanning in wavefront detection[J]. Chinese Optics, 2014, 7(6): 1003-1011. doi: 10.3788/CO.20140706.1003
Citation: TANG Zhao-xin, HUANG Wei, XU Wei-cai, LIU Li-feng, XU Xiang-ru. Application of differential pentaprism scanning in wavefront detection[J]. Chinese Optics, 2014, 7(6): 1003-1011. doi: 10.3788/CO.20140706.1003

差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用

doi: 10.3788/CO.20140706.1003
基金项目: 

国家重大科学专项资助项目(No.2012ZX02701001)

详细信息
    作者简介:

    汤兆鑫 (1989- ), 男, 辽宁大连人, 硕士研究生, 2008年于兰州大学获得学士学位, 主要从事光学设计与波像差检测, 哈特曼波前探测器等方面的研究.E-mail:tangzhx08@126.com

  • 中图分类号: TN247;TP212.14

Application of differential pentaprism scanning in wavefront detection

  • 摘要: 为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管.该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描法波前检测中质心标定不准确而引入的倾斜和离焦的误差量.通过搭建差分五棱镜扫描法波前检测系统验证了此方法的可行性,并给出差分五棱镜扫描法误差分析说明此方法可靠性.误差分析表明,该方法检测精度可以达到10.54 nm;实验结果表明,该方法相比于五棱镜扫描法分别在波面峰谷值(PV)和均方根值(RMS)的重复性精度上提高了74.41%和125.81%.该方法基本满足平行光管波前检测精度高、稳定性好的要求,可以客观准确地评价平行光管出射波前质量.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-09-23
  • 修回日期:  2014-10-20
  • 刊出日期:  2014-11-25

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