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白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度

陈凯 雷枫 伊藤雅英

陈凯, 雷枫, 伊藤雅英. 白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度[J]. 中国光学(中英文), 2015, 8(4): 567-573. doi: 10.3788/CO.20150804.0567
引用本文: 陈凯, 雷枫, 伊藤雅英. 白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度[J]. 中国光学(中英文), 2015, 8(4): 567-573. doi: 10.3788/CO.20150804.0567
CHEN Kai, LEI Feng, ITOH Masahide. Measurement of ITO transparent electrode film thickness with white-light interferometer[J]. Chinese Optics, 2015, 8(4): 567-573. doi: 10.3788/CO.20150804.0567
Citation: CHEN Kai, LEI Feng, ITOH Masahide. Measurement of ITO transparent electrode film thickness with white-light interferometer[J]. Chinese Optics, 2015, 8(4): 567-573. doi: 10.3788/CO.20150804.0567

白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度

doi: 10.3788/CO.20150804.0567
详细信息
    通讯作者:

    陈凯(1987—),男,吉林长春人,博士,主要从事白光干涉方面的研究。E-mail:cmfuchenkai@163.com

    雷枫(1965—),男,陕西渭南人,研究员,主要从事光学精密测量和光学信息处理方面的研究。E-mail:lei@gabor.bk.tsukuba.ac.jp

    伊藤雅英(1955—),男,日本人,教授,主要从事应用光学、量子光学、光学信息处理等方面的研究。E-mail:itoh@bk.tsukuba.ac.jp

  • 中图分类号: O438;O439

Measurement of ITO transparent electrode film thickness with white-light interferometer

  • 摘要: 随着平板显示技术的发展,透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜,本文通过改进已有的频域分析算法,以便测试膜厚在20~150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比,该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明,待测透明电极薄膜的厚度为90~104 nm,其结果和标定值一致,证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。

     

  • 图 1  白光干涉计光学系统示意图

    Figure 1.  Optical system diagram of white light interferometer

    图 2  由多重反射引起的相位迟延

    Figure 2.  Phase delay caused by multiple reflections

    图 3  分析相位信息算法

    Figure 3.  Analysis phase information algorithm

    图 4  测量结果

    Figure 4.  Measurement results

    表  1  光源光谱范围是384~768 nm时样品薄膜厚度

    Table  1.   Sample film thickness in the range of light source spectral 384-768 nm

    Spot1/nm
    No.1 99
    No.2 100
    No.3 98
    No.4 99
    No.5 96
    最大值 100
    最小值 96
    平均值 98.4
    标准偏差 1.516575
    下载: 导出CSV

    表  2  光源光谱范围是389~526 nm时样品薄膜厚度

    Table  2.   Sample film thickness in the range of light source spectral 389-526 nm

    Spot1/nm
    No.1 94
    No.2 98
    No.3 93
    No.4 93
    No.5 92
    最大值 98
    最小值 92
    平均值 94
    标准偏差 2.345 208
    下载: 导出CSV
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-03-26
  • 录用日期:  2015-04-22
  • 刊出日期:  2015-01-25

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