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面向光学器件透反射率测量的声光调制型激光功率稳定系统设计

苗少峰 李晨旭 高苗 邵晓鹏 史学舜 刘玉龙 刘长明 赵坤 陈海东

苗少峰, 李晨旭, 高苗, 邵晓鹏, 史学舜, 刘玉龙, 刘长明, 赵坤, 陈海东. 面向光学器件透反射率测量的声光调制型激光功率稳定系统设计[J]. 中国光学, 2016, 9(2): 263-269. doi: 10.3788/CO.20160902.0263
引用本文: 苗少峰, 李晨旭, 高苗, 邵晓鹏, 史学舜, 刘玉龙, 刘长明, 赵坤, 陈海东. 面向光学器件透反射率测量的声光调制型激光功率稳定系统设计[J]. 中国光学, 2016, 9(2): 263-269. doi: 10.3788/CO.20160902.0263
MIAO Shao-feng, LI Chen-xu, GAO Miao, SHAO Xiao-peng, SHI Xue-shun, LIU Yu-long, LIU Chang-ming, ZHAO Kun, CHEN Hai-dong. Design of laser power stabilization system based on acousto-optic modulation for the transmissivity and reflectivity measurement of optical devices[J]. Chinese Optics, 2016, 9(2): 263-269. doi: 10.3788/CO.20160902.0263
Citation: MIAO Shao-feng, LI Chen-xu, GAO Miao, SHAO Xiao-peng, SHI Xue-shun, LIU Yu-long, LIU Chang-ming, ZHAO Kun, CHEN Hai-dong. Design of laser power stabilization system based on acousto-optic modulation for the transmissivity and reflectivity measurement of optical devices[J]. Chinese Optics, 2016, 9(2): 263-269. doi: 10.3788/CO.20160902.0263

面向光学器件透反射率测量的声光调制型激光功率稳定系统设计

doi: 10.3788/CO.20160902.0263
详细信息
    通讯作者:

    苗少峰(1993-),男,安徽淮北人,硕士,主要从事光电成像硬件构建方面的研究。E-mail:miaosf0121@163.com

    邵晓鹏(1973-),男,山东威海人,博士,教授,博士生导师,1997年、2002年、2005年于西安电子科技大学分别获得学士、硕士、博士学位,主要从事计算成像,新体制光电成像(如超衍射极限成像、超分辨率成像和量子成像等)、光电图像处理与模式识别(光电成像在工业中的应用、遥感图像处理和高光谱图像处理)等方面的研究。E-mail:xpshao@xidian.edu.cn

  • Supported by National Natural Science Foundation of China(No. 61575154)
  • 国家自然科学基金资助项目(No.61575154)
  • 中图分类号: TN248

Design of laser power stabilization system based on acousto-optic modulation for the transmissivity and reflectivity measurement of optical devices

  • 摘要: 在各类光学系统设计过程中,由于实验系统对于光学器件的透反射率要求不同,需要确定光学器件的透反射率。本文设计了一种对光学器件的透反射率进行精准测量及标定的系统,该系统通过对激光光源进行声光调制,使得激光输出功率的稳定度显著提高,避免了测量时光源不稳定带来的较大误差。实验结果表明,该系统能够稳定光源输出功率,稳定度维持在0.05%/h,甚至更高的水平,满足了光学器件透反射率测量的误差小,精度高等要求。
    1)  Supported by National Natural Science Foundation of China(No. 61575154)
    1)  国家自然科学基金资助项目(No.61575154)
  • 图  1  透反射率测量系统组成

    Figure  1.  Tansmissivity and reflectivity measuring system

    图  2  光路控制的结构示意图

    Figure  2.  Schematic diagram of the optical path control

    图  3  光电放大模块的结构示意图

    Figure  3.  Schematic of the photoelectric amplifier module

    图  4  反馈控制模块的结构示意图

    Figure  4.  Schematic diagram of the feedback control module

    图  5  测量模块的结构示意图

    Figure  5.  Schematic diagram of measuring module

    图  6  激光功率稳定系统

    Figure  6.  Laser power stabilization system

    图  7  266 nm激光器输出功率原始波动

    Figure  7.  Original fluctuating of 266 nm laser output power

    图  8  379 nm激光器输出功率原始波动

    Figure  8.  Original fluctuating of 379 nm laser output power

    图  9  波长为266 nm的紫外激光器的控制效果对比

    Figure  9.  Controlling effect comparasion with and without stablization system using 266 nm laser

    图  10  图 9中power1和power3坐标放大图

    Figure  10.  Enlarged picture of power 1 and power 3 in Fig. 9

    图  11  波长为379 nm的紫外激光器的控制效果对比

    Figure  11.  Controlling effect comparasion with and without stabilization system using 379 nm laser

    图  12  图 11中power 1和power 2坐标放大

    Figure  12.  Enlarged picture of power 1 and power 2 in Fig. 11

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出版历程
  • 收稿日期:  2015-12-11
  • 录用日期:  2016-01-16
  • 刊出日期:  2016-01-25

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