留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

应用离子束修正高精度CGH基底

马占龙 彭利荣 王高文 谷勇强

马占龙, 彭利荣, 王高文, 谷勇强. 应用离子束修正高精度CGH基底[J]. 中国光学, 2016, 9(2): 270-276. doi: 10.3788/CO.20160902.0270
引用本文: 马占龙, 彭利荣, 王高文, 谷勇强. 应用离子束修正高精度CGH基底[J]. 中国光学, 2016, 9(2): 270-276. doi: 10.3788/CO.20160902.0270
MA Zhan-long, PENG Li-rong, WANG Gao-wen, GU Yong-qiang. High-precision CGH substrate figuring by ion beam[J]. Chinese Optics, 2016, 9(2): 270-276. doi: 10.3788/CO.20160902.0270
Citation: MA Zhan-long, PENG Li-rong, WANG Gao-wen, GU Yong-qiang. High-precision CGH substrate figuring by ion beam[J]. Chinese Optics, 2016, 9(2): 270-276. doi: 10.3788/CO.20160902.0270

应用离子束修正高精度CGH基底

doi: 10.3788/CO.20160902.0270
详细信息
    通讯作者:

    马占龙(1983-),男,河北唐山人,助理研究员,2006年、2009年于中国矿业大学分别获得学士、硕士学位,主要从事超高精度光学元件加工方面的研究。E-mail:mzlcumt@126.com

  • Supported by National Science and Technology Major Project of China (No. 2009ZX02205)
  • 国家科技重大专项项目(No.2009ZX02205)
  • 中图分类号: TH161;TQ171.6+

High-precision CGH substrate figuring by ion beam

  • 摘要: 计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。
    1)  Supported by National Science and Technology Major Project of China (No. 2009ZX02205)
    1)  国家科技重大专项项目(No.2009ZX02205)
  • 图  1  CGH基底面形误差对透射波前的影响

    Figure  1.  Wavefront deviation due to substrate surface error for transmissive type hologram

    图  2  CGH基底的楔角

    Figure  2.  Wedge angle of CGH substrate

    图  3  离子束去除函数

    Figure  3.  Removal functions of ion beam

    图  4  CGH基底初始面形

    Figure  4.  Initial surface figures of CGH substrate

    图  5  高精度CGH基底离子束加工实验过程

    Figure  5.  Experiment process of CGH substrate by ion beam

    图  6  精抛结果

    Figure  6.  Results of precision polishing

    图  7  精修结果

    Figure  7.  Results of precision figuring

    图  8  透射波前误差

    Figure  8.  Transmitted wavefront error

    表  1  去除函数主要参数

    Table  1.   Main parameters of removal functions

    Diameter of ion diaphragm/mmMaterial peak removal rate/(μm·min-1)Material volume removal rate/(10-3mm3·min-1)Diameter of ion beam/mmFull width at half maximum FHWM/mm
    0.27370.138.315
    100.24616.219.97.82
    50.2274.310.64.17
    下载: 导出CSV
  • [1]
    [2]

    [3]

    [4]

    [5]

    [6]

    [7]

    [8]
    [9]
    [10]

    [11]

    [12]

    [13]

    [14]

    [15]

  • 加载中
图(8) / 表(1)
计量
  • 文章访问数:  542
  • HTML全文浏览量:  71
  • PDF下载量:  608
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2015-12-03
  • 录用日期:  2015-12-28
  • 刊出日期:  2016-01-25

目录

    /

    返回文章
    返回