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应用于微靶装配的显微视觉检测技术

吴文荣 吴倩 黄燕华

吴文荣, 吴倩, 黄燕华. 应用于微靶装配的显微视觉检测技术[J]. 中国光学(中英文), 2008, 1(1): 75-79.
引用本文: 吴文荣, 吴倩, 黄燕华. 应用于微靶装配的显微视觉检测技术[J]. 中国光学(中英文), 2008, 1(1): 75-79.
WU Wen-rong, WU Qian, HUANG Yan-hua. Micro-vision measuring technology in microtarget assembling[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 75-79.
Citation: WU Wen-rong, WU Qian, HUANG Yan-hua. Micro-vision measuring technology in microtarget assembling[J]. Chinese Optics, 2008, 1(1): 75-79.

应用于微靶装配的显微视觉检测技术

详细信息
  • 中图分类号: TP391

Micro-vision measuring technology in microtarget assembling

  • 摘要: 针对如何实现微小尺度(μm~mm)靶零件装配过程中的在线检测,研制了应用于微靶装配的显微视觉检测系统,并对系统的构成与显微成像、图像预处理、特征检测等关键图像处理技术进行了详细论述。提出了针对微靶零件的新型多重滤波除噪算法和几何特征检测算法,并以铝台阶、柱腔等微靶零件为应用实例开展了实验研究。结果表明,该系统采用的算法能有效、快速、准确地对靶零件进行几何特征和实时位置检测,在检测视场为3 mm时,其检测精度≤3 μm,角度检测精度≤01°,适用于ICF微靶等微型器件的微装配。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2008-09-26
  • 修回日期:  2008-10-25
  • 刊出日期:  2008-12-01

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