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激光位移传感器的光学系统设计

莫仁芸 朱万彬 钟俊 陈璇

莫仁芸, 朱万彬, 钟俊, 陈璇. 激光位移传感器的光学系统设计[J]. 中国光学(中英文), 2010, 3(5): 513-517.
引用本文: 莫仁芸, 朱万彬, 钟俊, 陈璇. 激光位移传感器的光学系统设计[J]. 中国光学(中英文), 2010, 3(5): 513-517.
MO Ren-yun, ZHU Wan-bin, ZHONG Jun, CHEN Xuan. Optical design of laser displacement sensor[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 513-517.
Citation: MO Ren-yun, ZHU Wan-bin, ZHONG Jun, CHEN Xuan. Optical design of laser displacement sensor[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 513-517.

激光位移传感器的光学系统设计

基金项目: 

吉林省科技厅科技发展计划重点项目(No.20080339)

详细信息
    作者简介:

    莫仁芸(1986—),女,广西柳州人,硕士研究生,主要从事激光检测及应用方面的研究。 E-mail:xiaosha_413@163.com
    朱万彬(1963—),男,吉林长春人,主要从事激光加工测量方面的研究。E-mail:wanbinzhu@163.com

    莫仁芸(1986—),女,广西柳州人,硕士研究生,主要从事激光检测及应用方面的研究。 E-mail:xiaosha_413@163.com
    朱万彬(1963—),男,吉林长春人,主要从事激光加工测量方面的研究。E-mail:wanbinzhu@163.com

  • 中图分类号: TP212.12; TN249

Optical design of laser displacement sensor

  • 摘要: 针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低,测量范围小等问题,提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上,结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统,其工作范围为(5010) mm。采用系统分割的方法,将整个光学系统分为两部分进行设计,第一部分是激光束的整形透镜,要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑,设计结果表明,在测量范围内,光斑大小能够控制在10-1 mm量级;另一部分是被测面散射光接收的成像物镜,该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度,实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。

     

  • [1] 冯俊艳,冯其波,匡萃方,等. 高精度激光三角位移传感器的技术现状[J]. 应用光学 ,2004,25(3):33-36. FENG J Y,FENG Q B,KUANG C F,et al.. Present status of high precision laser displacement sensor based on triangulation[J]. J. Appl. Opt.,2004,25(3):33-36.(in Chinese) [2] 陈骥,王鑫,曹久大,等. 高速CCD激光位移传感器[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(4):611-616. CHEN J,WANG X,CAO J D,et al.. Development of high-speed CCD laser displacement sensor[J]. Opt.Precision Eng.,2008,16(4):611-616.(in Chinese) [3] GOODMAN J W. 傅里叶光学导论[M].秦克诚,刘培森 ,译.北京:电子工业出版社,2006. GOODMAN J W. Introduction to Fourior Optics[M]. QIN K CH,LIU P S,transl. Beijing:Publishing House of Electronics Industry,2006.(in Chinese) [4] 雷广智,张新,张建萍,等. 波前编码系统的新设计[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(7):1172-1176. LEI G ZH,ZHANG X,ZHANG J P,et al.. Novel optimization method for wavefront coding system[J]. Opt.Precision Eng.,2008,16(7):1172-1176.(in Chinese) [5] 邹振书,李喜增,张景和,等. 非接触测量激光光学探头[J]. 光学 精密工程 ,1997,5(3):83-88. ZOU ZH SH,LI X Z,ZHANG J H,et al.. Laser optical probe for non-contact measurements[J]. Opt.Precision Eng.,1997,5(3):83-88.(in Chinese) [6] 蔡明知,宋洪侠,曹铁泽,等. 基于PSD的高精度激光位移传感器设计与分析[J]. 机电产品开发与创新 ,2007,20(5):150-152. CAI M ZH,SONG H X,CAO T Z,et al.. Design and analysis of high precision Laser Displacement Sensor based on position sensitive detector(PSD)[J]. Development & Innovation of Machinery & Electrical Products,2007,20(5):150-152.(in Chinese) [7] 毛文炜.光学镜头的优化设计 [M].北京:清华大学出版社,2009. MAO W W. Optimized Design of Optical Lenses[M]. Bingjing:Tsinghua University Press,2009.(in Chinese)
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-03-11
  • 修回日期:  2010-05-13
  • 刊出日期:  2010-10-25

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