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三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制

魏孜洵 付秀华 石澎 梅禹珊

魏孜洵, 付秀华, 石澎, 梅禹珊. 三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(2): 196-200.
引用本文: 魏孜洵, 付秀华, 石澎, 梅禹珊. 三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(2): 196-200.
WEI Zi-xun, FU Xiu-hua, SHI Peng, MEI Yu-shan. Fabrication of broadband AR coating for three-dimensional laparoscopic facet[J]. Chinese Optics, 2011, 4(2): 196-200.
Citation: WEI Zi-xun, FU Xiu-hua, SHI Peng, MEI Yu-shan. Fabrication of broadband AR coating for three-dimensional laparoscopic facet[J]. Chinese Optics, 2011, 4(2): 196-200.

三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制

详细信息
    作者简介:

    魏孜洵(1985—),女,硕士研究生,主要从事现代光学制造技术方面的研究。E-mail:guder222@yahoo.com.cn 付秀华(1963—),女,教授,主要从事光学薄膜及半导体激光器制造工艺等方面的研究。

    魏孜洵(1985—),女,硕士研究生,主要从事现代光学制造技术方面的研究。E-mail:guder222@yahoo.com.cn 付秀华(1963—),女,教授,主要从事光学薄膜及半导体激光器制造工艺等方面的研究。

  • 中图分类号: O484.1

Fabrication of broadband AR coating for three-dimensional laparoscopic facet

  • 摘要: 根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求,研究并选择了合适的薄膜材料;采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计。通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜。测试试验显示,制备的膜层在400~700 nm波段的平均反射率<0.5%,而且颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,满足医用光学仪器的使用要求。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-12-21
  • 修回日期:  2011-02-23
  • 刊出日期:  2011-04-25

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