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300 mm平面标准镜装卡结构的关键参数

田伟 王汝冬 王平 隋永新 王立朋

田伟, 王汝冬, 王平, 隋永新, 王立朋. 300 mm平面标准镜装卡结构的关键参数[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(3): 264-270.
引用本文: 田伟, 王汝冬, 王平, 隋永新, 王立朋. 300 mm平面标准镜装卡结构的关键参数[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(3): 264-270.
TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Ping, SUI Yong-xin, WANG Li-peng. Key structural parameters of 300 mm aperture reference flat mirror[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 264-270.
Citation: TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Ping, SUI Yong-xin, WANG Li-peng. Key structural parameters of 300 mm aperture reference flat mirror[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 264-270.

300 mm平面标准镜装卡结构的关键参数

基金项目: 

02专项基金资助项目(No.2009ZX02205)

详细信息
  • 中图分类号: TN305.7; TH703

Key structural parameters of 300 mm aperture reference flat mirror

  • 摘要: 为了实现大口径平面标准镜的高精结构装卡,对其在重力作用下的面形变化进行了研究。首先,对结构胶的有限元建模进行了理论分析,建立了大口径平面标准镜胶结装卡结构有限元模型。然后,分析了不同胶点数量及分布、不同胶接面积以及不同镜框支撑方式等关键结构参数对参考面面形的影响。最后,设计了大口径平面标准镜胶结及支撑的结构。结果表明,采用胶点直径为5 mm, 123胶点分布形式胶结时,参考面面形的PV值为24.06 nm,RMS值为6.78 nm,满足了大口径平面标准镜面形精度的要求。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-01-15
  • 修回日期:  2011-03-15
  • 刊出日期:  2011-06-25

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