中国光学
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中国光学  2019, Vol. 12 Issue (3): 606-615    DOI: 10.3788/CO.20191203.0606
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电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测
朱春霖1,2, 胡昊1,2, 焦庆斌1, 谭鑫1, 巴音贺希格1
1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033;
2. 中国科学院大学, 北京 100049
In-situ monitoring of metal depositing in the fabrication of metallic grating
ZHU Chun-lin1,2, HU Hao1,2, JIAO Qing-bin1, TAN Xin1, Bayanheshig1
1. Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China;
2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

 

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