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光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响

秦富林 张尧禹 蔡盛 乔彦峰

秦富林, 张尧禹, 蔡盛, 乔彦峰. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学, 2009, 2(6): 508-512.
引用本文: 秦富林, 张尧禹, 蔡盛, 乔彦峰. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学, 2009, 2(6): 508-512.
QIN Fu-lin, ZHANG Yao-yu, CAI Sheng, QIAO Yan-feng. Influence of inconsistent grating periods on roll angle measurement based on Moiré fringe[J]. Chinese Optics, 2009, 2(6): 508-512.
Citation: QIN Fu-lin, ZHANG Yao-yu, CAI Sheng, QIAO Yan-feng. Influence of inconsistent grating periods on roll angle measurement based on Moiré fringe[J]. Chinese Optics, 2009, 2(6): 508-512.

光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响

详细信息
    通讯作者: 秦富林

Influence of inconsistent grating periods on roll angle measurement based on Moiré fringe

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    Corresponding author: QIN Fu-lin
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-08-16
  • 修回日期:  2009-11-07
  • 刊出日期:  2009-12-20

光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响

    通讯作者: 秦富林

摘要: 为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值β<1.001时,在±15′的测量范围内,选择光栅周期为50 μm,莫尔条纹宽度为1 400~1 800 μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。

English Abstract

秦富林, 张尧禹, 蔡盛, 乔彦峰. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学, 2009, 2(6): 508-512.
引用本文: 秦富林, 张尧禹, 蔡盛, 乔彦峰. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学, 2009, 2(6): 508-512.
QIN Fu-lin, ZHANG Yao-yu, CAI Sheng, QIAO Yan-feng. Influence of inconsistent grating periods on roll angle measurement based on Moiré fringe[J]. Chinese Optics, 2009, 2(6): 508-512.
Citation: QIN Fu-lin, ZHANG Yao-yu, CAI Sheng, QIAO Yan-feng. Influence of inconsistent grating periods on roll angle measurement based on Moiré fringe[J]. Chinese Optics, 2009, 2(6): 508-512.

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