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电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测

朱春霖 胡昊 焦庆斌 谭鑫 巴音贺希格

朱春霖, 胡昊, 焦庆斌, 谭鑫, 巴音贺希格. 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测[J]. 中国光学(中英文), 2019, 12(3): 606-615. doi: 10.3788/CO.20191203.0606
引用本文: 朱春霖, 胡昊, 焦庆斌, 谭鑫, 巴音贺希格. 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测[J]. 中国光学(中英文), 2019, 12(3): 606-615. doi: 10.3788/CO.20191203.0606
ZHU Chun-lin, HU Hao, JIAO Qing-bin, TAN Xin, Bayanheshig. In-situ monitoring of metal depositing in the fabrication of metallic grating[J]. Chinese Optics, 2019, 12(3): 606-615. doi: 10.3788/CO.20191203.0606
Citation: ZHU Chun-lin, HU Hao, JIAO Qing-bin, TAN Xin, Bayanheshig. In-situ monitoring of metal depositing in the fabrication of metallic grating[J]. Chinese Optics, 2019, 12(3): 606-615. doi: 10.3788/CO.20191203.0606

电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测

doi: 10.3788/CO.20191203.0606
基金项目: 

国家自然科学基金项目 61227901

国家自然科学基金项目 61605197

详细信息
    作者简介:

    朱春霖(1991—),男,吉林梅河口人,博士研究生,2014年于北京理工大学获得学士学位,主要从事光栅湿法刻蚀等方面的研究。E-mail:zhuchunlin_optik@163.com

    胡昊(1990—),男,吉林松原人,博士研究生,2013年于电子科技大学获得硕士学位,主要从事光栅湿法刻蚀方面的研究。E-mail:jiangbeihaoge@126.com

    焦庆斌(1986—),男,辽宁丹东人,博士,助理研究员,2009年于大连民族学院获得学士学位,2014年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事超声辅助湿法刻蚀等方面的研究。E-mail:voynichjqb@163.com

    谭鑫(1981—),男,吉林长春人,博士,研究员,博士生导师,2003年、2008年于中国科学技术大学分别获得学士、博士学位,主要从事光栅设计制作技术及光学器件微细加工技术的研究。E-mail:xintan_grating@163.com

    巴音贺希格(1962—),男,内蒙古鄂尔多斯人,博士,研究员,博士生导师,2004年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事光栅理论、光栅制作技术及光谱技术的研究。E-mail:bayin888@sina.com

  • 中图分类号: O436

In-situ monitoring of metal depositing in the fabrication of metallic grating

Funds: 

the National Natural Science Foundation of China(NSFC) 61227901

the National Natural Science Foundation of China(NSFC) 61605197

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出版历程
  • 收稿日期:  2018-10-29
  • 修回日期:  2018-12-05
  • 刊出日期:  2019-06-01

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